[发明专利]纳米压印用固化性树脂组合物有效
申请号: | 200980102438.8 | 申请日: | 2009-01-08 |
公开(公告)号: | CN101984756A | 公开(公告)日: | 2011-03-09 |
发明(设计)人: | 三宅弘人;伊吉就三 | 申请(专利权)人: | 大赛璐化学工业株式会社 |
主分类号: | C08F20/32 | 分类号: | C08F20/32;B29C59/02;C08F2/44;G03F7/20;H01L21/027;B29K63/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 张平元 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 压印 固化 树脂 组合 | ||
1.一种纳米压印用光固化性树脂组合物,其含有固化性单体,或者含有固化性单体和粘合剂树脂,其中,相对于该固化性单体和粘合剂树脂的总量100重量份,同一分子骨架中具有反应性官能团和疏水性官能团的化合物A的含量为0.001~5重量份。
2.根据权利要求1所述的纳米压印用光固化性树脂组合物,其中,反应性官能团为选自羟基、环氧基、乙烯基醚基、氧杂环丁烷基、烷氧基硅烷基或具有自由基聚合性的乙烯基中的至少一种官能团。
3.根据权利要求1或2所述的纳米压印用光固化性树脂组合物,其中,疏水性官能团为选自含有氟原子的基团、烷基硅烷基、脂环式烃基、碳原子数为4以上的脂肪族烃基中的至少一种官能团。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的纳米压印用光固化性树脂组合物,其中,光固化性树脂组合物为含有阳离子固化性单体的阳离子固化性组合物和/或含有具有自由基聚合性不饱和键的单体的自由基固化性组合物,该阳离子固化性单体为选自环氧化合物、乙烯基醚化合物、氧杂环丁烷化合物、碳酸酯化合物、二硫代碳酸酯化合物中的至少一种化合物。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的纳米压印用光固化性树脂组合物,所述纳米压印用光固化性树脂组合物是阳离子固化性组合物,所述阳离子固化性组合物包含化合物A,还包含作为固化性单体的环氧化合物或氧杂环丁烷化合物,所述化合物A具有作为反应性官能团的乙烯基、作为疏水性官能团的含有氟原子的基团。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的纳米压印用光固化性树脂组合物,其中,固化性单体包括丙烯酸类单体。
7.一种固化物,该固化物由权利要求1~6中任一项所述的光固化性树脂组合物固化而形成。
8.微细结构物的制造方法,该方法包括,对权利要求1~6中任一项所述的光固化性树脂组合物进行纳米压印加工而得到微细结构物。
9.根据权利要求8所述的微细结构物的制造方法,该方法包括:
(1)在支持体上形成包含权利要求1~6中任一项所述的光固化性树脂组合物的覆膜的工序;
(2)使用经过微细结构化的压印印模将图案转印到上述覆膜上的工序;
(3)使转印有图案的覆膜发生固化的工序;及
(4)取下压印印模,得到被压印的微细结构的工序。
10.一种微细结构物,其是采用权利要求8或权利要求9中任一项所述的制造方法得到的。
11.根据权利要求10所述的微细结构物,其包括半导体材料、平网印刷机、全息图、波导、介质用结构体、精密机械部件或传感器。
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