[发明专利]真空吸盘有效
申请号: | 200980102484.8 | 申请日: | 2009-01-19 |
公开(公告)号: | CN101919040A | 公开(公告)日: | 2010-12-15 |
发明(设计)人: | 林权炫 | 申请(专利权)人: | 林权炫 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 北京华夏博通专利事务所 11264 | 代理人: | 刘俊 |
地址: | 韩国首*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 吸盘 | ||
技术领域
本发明涉及仅通过气压来可靠地吸附并夹持无法通过夹具或磁力夹头固定的加工物的真空吸盘,尤其涉及将结构变得简单而能够减少成本以及重量,并且能够缩短夹持时间的真空吸盘。
背景技术
一般而言,真空吸盘用于固定无法通过夹具或磁力夹头来固定的加工物,并且真空吸盘无论材质仅以气压来固定如丙烯酸、塑胶、不锈钢、铝以及金属材质的加工物。
但是由于现有的真空吸盘的结构太复杂,所以存在成本上升的问题点,并且在结构方面存在重量较高,而且外观不美观等问题点。
而且,现有的真空吸盘,在结构方面存在维修时很难更换部件的问题点。
而且,以前存在在外部无法确认真空吸盘的压力状态的不方便的问题点,并且由于使用软管和外螺丝来组装真空计,所以存在在结构方面的组装性和真空效率低的问题点,而且存在另外设置保护真空计的量器外壳的不方便的问题点。
发明内容
本发明是为了解决如上所述的现有的缺点而提出的,其目的在于提供一种使真空吸盘的结构变得简单,由此能够减少成本以及重量,并且外观变得美观,而且在维修时能够易于更换部件,并且能够减少加工物的夹持时间的真空吸盘。
本发明的另一目的是提供一种如下的真空吸盘,该真空吸盘设置了压力计,能够容易地由外部确认真空吸盘的压力状态,而且藉由直接组装真空计而不使用软管和外螺丝,能够提高组装性和真空效率,并藉由集成量器外壳而不另外安装,因而能够减少费用。
为了实现上述目的,本发明提供一种真空吸盘,其特征在于,包括本体,其上具有排列成格子状的多个支撑突起和真空槽,其内部分别形成有设置空间、真空空间和过滤器空间,在过滤器空间的上部形成有与真空槽相通的真空孔,在后方二侧具有分别与设置空间和真空空间分别相通的入口和出口;空气储存阀、真空传感器、真空产生器和过滤器,分别设置在上述本体的设置空间、真空空间和过滤器空间中;压力计和真空计,分别安装在上述本体的前方二侧,与入口和真空空间分别相通;开关,可前后移动地设置在上述本体的前方中央里,以开闭真空空间;本体外壳,与上述本体的下部气密地连接;以及过滤器外壳,与上述过滤器空间的下部连接。
本发明的真空吸盘具有如下效果:由于结构简单,所以能够减少成本以及重量,并且外观美观,而且修理时能够容易地更换部件,能够缩短加工物的夹持时间。
此外,本发明的真空吸盘,能够使用压力计而容易地由外部确认真空吸盘的压力状态,而且藉由直接组装真空计而不使用软管和外螺丝,能够提高组装性和真空效率,并并藉由集成量器外壳而不另外安装,因而能够减少费用。
附图说明
图1是本发明的透视图;
图2是表示本发明的背面的透视图;
图3是本发明的分解示意图;
图4和图5是表示依据本发明本体的底面的示意图;
图6是依据本发明的底视图;
图7是本发明的剖面图;
图8是依据本发明压力计的分解示意图;
图9是图8的组装剖面图;
图10是依据本发明真空计的分解示意图;
图11是图10的组装剖面图;
图12是依据本发明开关的分解示意图;
图13和图14表示图12的组装状态和操作状态的剖面图;
图15是依据本发明外壳和过滤器外壳的分解示意图;以及
图16和图17是表示依据本发明实施例的夹持基准点设定的示例图。
主要元件符号说明
10螺丝 20基准板
100本体 110支撑突起
110a母螺旋 111真空槽
120设置空间 121真空空间
122过滤器空间 123真空孔
123a门槛 130入口
131出口 140第一压力线
140a通孔 140b通孔
141第二压力线 141a通孔
141b通孔 142真空线
142a通孔 142b通孔
150量器外壳 151母螺旋
152扳手槽 160开关槽
161栓 170夹持槽手柄
200压力计 210螺栓
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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