[发明专利]用于光电子器件的横跨丝网形成的方法、设备和辊轴有效
申请号: | 200980103245.4 | 申请日: | 2009-01-08 |
公开(公告)号: | CN101926015A | 公开(公告)日: | 2010-12-22 |
发明(设计)人: | A·R·杜加尔;潘克菲;S·罗戈耶维克 | 申请(专利权)人: | 通用电气公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 严志军;谭祐祥 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 光电子 器件 横跨 丝网 形成 方法 设备 辊轴 | ||
1.一种用于形成多个光电子器件的方法,所述方法包括:
提供具有纵向丝网方向和横跨丝网方向的衬底,以及设置在所述衬底上的多个第一电极,从而限定沿着纵向丝网方向的隔开的第一电极的多个纵向延伸的列和相对于横跨丝网方向而设置在一角度上的隔开的第一电极的多个行;
提供第一辊轴,其具有围绕所述第一辊轴而延伸的第一凸起的螺旋形涂布表面;
首先使所述衬底和所述第一电极的多个隔开的列相对于所述第一辊轴对准并经过所述第一轴辊,从而从所述第一凸起的螺旋形涂布表面将第一多个成角度的隔开的第一光电子材料的涂布带沉淀到所述衬底和多行第一电极上;
提供第二辊轴,其具有围绕所述第二辊轴而延伸的第二凸起的螺旋形涂布表面;
其次使所述衬底、所述第一电极的多个隔开的列和所述第一多个成角度的隔开的第一光电子材料的涂布带相对于所述第二辊轴对准并经过所述第二辊轴,从而从所述第二凸起的螺旋形涂布表面将第二多个成角度的隔开的第二光电子材料的涂布带沉淀到所述第一多个成角度的隔开的第一光电子材料的涂布带上;
在所述第一电极的相邻的纵向延伸的列之间除去沉淀的成角度的隔开的所述第一光电子材料和所述第二光电子材料的涂布带的部分,以暴露出所述纵向延伸的第一电极的列的部分,而所述第一电极的多个列的其它部分保持被所述第一光电子材料和所述第二光学材料所覆盖;和
提供多个隔开的第二电极,其将所述第一电极的裸露部分与设置在相邻的第一电极上的涂层部分电联接起来,从而沿着所述横跨丝网方向形成在一角度上串联起来的光电子器件的多个成角度的行。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括通过调整所述第一辊轴和所述第二辊轴的旋转速度以及所述衬底的速度的至少其中一个而改变沉淀的多个成角度的涂布带的角度。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括通过调整所述第一辊轴和所述第二辊轴的旋转速度以及所述衬底的速度而改变所述沉淀的多个成角度的涂布带的角度。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一凸起的螺旋形涂布表面包括从所述第一辊轴的第一端至所述第一辊轴的第二端的恒定螺距。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一凸起的螺旋形涂布表面包括从所述第一辊轴的第一端至所述第一辊轴的第二端的变化螺距。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,提供所述第二辊轴包括利用所述第一辊轴。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述多个第一电极包括多个平行四边形形状的第一电极。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括保持所述成角度的涂布带的恒定角度。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述凸起的螺旋形涂布表面包括多个栅格和多个凹槽的至少其中之一。
10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,第二对准和经过包括使所述衬底、所述第一电极的多个列和所述第一多个成角度的涂布带相对于所述第二辊轴对准并经过所述第二辊轴,所述第二辊轴包括多个第二辊轴,第二辊轴具有多个偏离的凸起的螺旋形涂布表面,从而将包括不同的第二光电子材料的第二多个涂布带从多个储槽沉淀到所述第一多个成角度的涂布带上,并且其中所述不同的第二光电子材料导致所述多个光电子器件可操作以发射不同颜色的光。
11.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一光电子材料和所述第二光电子材料的至少其中一个包括电致发光材料,并且所述多个光电子器件包括多个电致发光器件。
12.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一光电子材料和所述第二光电子材料的至少其中一个包括光吸收材料,并且所述多个光电子器件包括多个光伏器件。
13.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括将电串联连接的光电子器件的多个行并联地电连接在一起。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择