[发明专利]探针单元

权利要求书

1.一种探针单元，其特征在于，具有：

多个大径探针，该多个大径探针各自使用导电性材料形成，且沿着长度方向伸缩自如；

多个小径探针，该多个小径探针各自使用导电性材料形成，且具有比所述大径探针的直径小的直径；

大径探针支架，其具有：多个大孔部，该多个大孔部分别独立地保持所述多个大径探针；多个收容孔部，该多个收容孔部各自的直径比所述大孔部小，且与所述多个大孔部中的任一个连通，并以使所述小径探针的端部与所述大径探针接触的状态收容所述小径探针的端部，并且互相连通的所述大孔部及所述收容孔部的组合在厚度方向上穿过该大径探针支架；

小径探针支架，其设有多个小孔部，并层叠在所述大径探针支架上，使得各小孔部分别与所述多个收容孔部中的任一个连通，所述多个小孔部在厚度方向上穿过该小径探针支架，并独立地将所述多个小径探针保持在止脱的状态，

其中，

互相连通的所述大孔部及所述小孔部的长度方向的中心轴不同，

在所述多个小孔部中包含邻接的二个小孔部的中心轴间距离比分别对应该二个小孔部的二个大孔部的中心轴间距离小的小孔部。

2.如权利要求1所述的探针单元，其中，

所述大径探针具有：

第一柱塞，其呈大致针状；

第二柱塞，其前端指向与所述第一柱塞的前端相反的方向，并与所述小径探针接触；

弹性构件，其长度方向上的一端部安装在所述第一柱塞且另一端部安装在所述第二柱塞，并沿着所述长度方向伸缩自如。

3.如权利要求2所述的探针单元，其中，

所述第二柱塞的前端形成与所述大径探针的长度方向大致正交的平面。

4.如权利要求2或3所述的探针单元，其中，

所述大径探针支架具有：

第一基板，其使所述第一柱塞的前端部露出地保持该第一柱塞；

第二基板，其层叠于所述第一基板且层叠于所述小径探针支架，并收容所述小径探针支架所保持的所述小径探针的端部。

5.如权利要求1所述的探针单元，其中，

所述大径探针为弹性探针。

6.如权利要求5所述的探针单元，其中，

与所述小径探针接触的所述弹性探针的前端形成与所述大径探针的长度方向大致正交的平面。

7.如权利要求5或6所述的探针单元，其中，

所述大径探针支架具有：

第一基板，其使未与所述小径探针接触的所述弹性探针的前端露出地保持该弹性探针；

第二基板，其层叠于所述第一基板且层叠于所述小径探针支架，并收容所述小径探针支架所保持的所述小径探针的端部。

8.如权利要求1～7中任一项所述的探针单元，其中，

所述小径探针支架由分别使所述小径探针中的任一端部露出地保持该小径探针的二片基板层叠而成。

9.如权利要求1～8中任一项所述的探针单元，其中，

在所述大径探针支架及所述小径探针支架中，至少与所述大径探针及/或所述小径探针接触的部分具有绝缘性。