[发明专利]高次谐波发生器

权利要求书

1.一种高次谐波发生器，具有固体激光振荡器、波导型高次谐波发生元件、第一透镜系统以及第二透镜系统；

所述波导型高次谐波发生元件具有将由所述固体激光振荡器所激发的激光的波长进行转换从而发生高次谐波的调制用光波导、所述激光的入射侧端面、所述高次谐波的出射侧端面、一侧的侧面及另一侧侧面；

所述第一透镜系统对由所述固体激光振荡器所激发的所述激光向着所述波导型高次谐波发生元件的所述入射侧端面进行聚光；

所述第二透镜系统对从所述波导型高次谐波发生元件的所述出射侧端面所射出的所述高次谐波进行聚光；

其特征在于，所述出射侧端面具有在所述一侧的侧面侧所形成的研磨面和在所述另一侧的侧面侧所形成的光散射面，所述一侧的侧面和所述研磨面所形成的角θ为钝角，所述另一侧的侧面与所述光散射面之间所成的角α为钝角或直角。

2.根据权利要求1所述的高次谐波发生器，其特征在于，所述入射侧端面具有形成于所述另一侧的侧面侧的研磨面和形成于所述一侧的侧面侧的光散射面，所述另一侧的侧面与所述研磨面之间所形成的角θ为钝角，所述一侧的侧面与所述光散射面之间所形成的角α为钝角或直角。

3.根据权利要求1或2所述的高次谐波发生器，其特征在于所述调制用光波导为脊型光波导。