[发明专利]圆筒磨削装置及磨削方法

权利要求书

1.一种圆筒磨削装置，用于磨削圆柱状晶棒的侧面，其特征在于：

至少具备：平台，其用以将前述圆柱状晶棒直立置放；一对夹具，其从垂直方向来保持前述晶棒两侧的端面；旋转机构，其用于驱动前述晶棒来使其绕轴旋转；及研磨轮，其可在前述旋转机构的旋转轴向移动；

并且，具备定心机构，其是由至少3个滚轮与用以支撑前述滚轮的臂所组成，使前述滚轮相对于前述晶棒，从水平方向作进退移动，而可作压接动作，

并且，先将前述圆柱状晶棒直立置放在前述平台上，接着将前述已直立置放的晶棒，从前述平台移载至前述夹具上，然后利用前述一对夹具，将前述晶棒两侧的端面，保持在垂直方向，接着一边利用前述旋转机构来使前述晶棒绕轴旋转，一边使前述定心机构相对于前述晶棒从水平方向作进退移动，而使前述滚轮压接前述晶棒的侧面，由此，使前述旋转机构的旋转轴与前述晶棒的中心轴一致，之后，利用前述研磨轮来磨削前述晶棒。

2.如权利要求1所述的圆筒磨削装置，其中前述平台具有U字型的切口。

3.如权利要求1或2所述的圆筒磨削装置，其中前述定心机构，具有1对各自左右对称的定心构件，该定心构件在其Y字型的臂上设有2个滚轮。

4.一种晶棒的磨削方法，是根据圆筒磨削装置来磨削圆柱状晶棒的侧面的方法，其特征在于：

先将前述圆柱状晶棒直立置放在平台上，接着将已直立置放的晶棒，从前述平台移载至前述夹具上，然后利用可绕轴旋转的夹具，将前述晶棒两侧的端面，保持在垂直方向，接着一边使利用前述夹具而保持的前述晶棒绕轴旋转，一边使定心机构相对于前述晶棒从水平方向作进退移动，该定心机构是由至少3个滚轮与用以支撑前述滚轮的臂所组成，而使前述滚轮压接前述晶棒的侧面，由此，使前述夹具的旋转轴与前述晶棒的中心轴一致，之后，使研磨轮抵接前述晶棒的侧面，并使前述研磨轮在垂直方向移动，来磨削前述晶棒的侧面。

5.如权利要求4所述的晶棒的磨削方法，其中在前述平台设置U字型的切口。

6.如权利要求4或5所述的晶棒的磨削方法，其中作为前述定心机构，采用一种定心机构，该定心机构具有1对各自左右对称的定心构件，且该定心构件在其Y字型的臂上设有2个滚轮。