[发明专利]低温等离子体探针及其使用方法有效

专利信息
申请号: 200980104780.1 申请日: 2009-02-11
公开(公告)号: CN101946300A 公开(公告)日: 2011-01-12
发明(设计)人: 欧阳证;积逊·哈珀;尼古拉斯·查理珀;罗伯特·库克斯 申请(专利权)人: 普度研究基金会
主分类号: H01J49/00 分类号: H01J49/00
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 丁业平;戚秋鹏
地址: 美国印*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 低温 等离子体 探针 及其 使用方法
【权利要求书】:

1.一种低温等离子体探针,包括:具有放电气体入口的外壳、探针针尖、两个电极、以及电介质阻挡层,其中所述两个电极被所述电介质阻挡层分隔开,并且其中由电源施加的电压产生电场和低温等离子体,其中所述电场将所述低温等离子体驱出所述探针针尖。

2.根据权利要求1所述的探针,还包括电源。

3.根据权利要求2所述的探针,其中所述电源提供交流电。

4.根据权利要求1所述的探针,其中通过所述放电气体入口向所述探针提供放电气体,并且所述放电气体协助所述电场将所述低温等离子体驱出所述探针针尖。

5.根据权利要求1所述的探针,其中所述放电气体为选自由氦气、环境空气、压缩空气、氮气和氩气所组成的组中的至少一种气体。

6.根据权利要求1所述的探针,其中所述电介质阻挡层由电绝缘材料构成。

7.根据权利要求6所述的探针,其中所述电绝缘材料选自由玻璃、石英、陶瓷、硅和聚合物所组成的组。

8.根据权利要求1所述的探针,其中所述电介质阻挡层为各端开口的玻璃管。

9.根据权利要求1所述的探针,其中改变所述电场调节能量以及样品中分析物的破碎度。

10.一种低温等离子体探针,包括:

具有放电气体入口和各端开口的管的外壳,其中所述管的至少一部分延伸至所述外壳的外部;

第一电极,其延伸至所述外壳内和所述管的近端内;

第二电极,其与所述管的外部相接触;

电源;

其中由所述电源施加的电压产生电场以及低温等离子体,其中所述电场将所述低温等离子体驱出所述管的远端。

11.根据权利要求10所述的低温等离子体探针,其中所述第一电极接地并且第二电极接受来自所述电源的电压,并且所述电源向所述第二电极施加的电压产生所述电场以及所述低温等离子体。

12.根据权利要求10所述的低温等离子体探针,其中所述第二电极接地并且第一电极接受来自所述电源的电压,并且所述电源向所述第一电极施加的电压产生所述电场以及所述低温等离子体。

13.根据权利要求10所述的探针,其中所述电源提供交流电。

14.根据权利要求10所述的探针,其中通过所述放电气体入口向所述探针提供放电气体,并且所述放电气体协助所述电场将所述低温等离子体驱出所述管的远端。

15.根据权利要求14所述的探针,其中所述放电气体为选自由氦气、压缩空气、氮气和氩气所组成的组中的至少一种气体。

16.根据权利要求10所述的探针,其中所述管由电绝缘材料构成。

17.根据权利要求10所述的探针,其中所述电绝缘材料选自由玻璃、石英、陶瓷和聚合物所组成的组。

18.根据权利要求10所述的探针,其中所述第一电极轴向上置于所述管的中心处。

19.根据权利要求10所述的探针,其中所述第一电极为不锈钢。

20.根据权利要求10所述的探针,其中所述第二电极为铜带。

21.一种用于分析样品材料的系统,包括:

一种装置,其用以产生低温等离子体、并将所述低温等离子体导向样品材料,从而与所述样品相互作用并形成所述样品中的至少一种分析物的离子;以及

质量分析仪。

22.根据权利要求21所述的系统,其中所述质量分析仪选自由质谱仪和离子淌度谱仪所组成的组。

23.根据权利要求21所述的系统,还包括用以保持所述样品材料的台子。

24.根据权利要求21所述的系统,其中所述用以产生低温等离子体的装置与所述质量分析仪彼此连接。

25.根据权利要求21所述的系统,其中所述用以产生低温等离子体的装置与所述质量分析仪未连接,并且其中所述质量分析仪位于足够靠近所述样品处,以收集由所述用以生成低温等离子体的装置产生的所述样品中至少一种分析物的离子。

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