[发明专利]一种用于线性运动导螺杆和螺母总成中螺母和螺丝自动对准的悬置轴环夹持装置

权利要求书

1.一种自动对准线性运动仪器，包含：

导螺杆；和

设置成环绕所述导螺杆的螺母装置，其中所述螺母装置包含至少一个螺母、一个螺母架和一个悬置轴环，其中一个带肩螺丝穿插过所述螺母架的螺母架孔和所述螺母的螺母孔，以至少部分安置在所述悬置轴环里，其中所述螺母架孔的一个尺寸大于所述带肩螺丝的横断面尺寸，当所述导螺杆转动时，所述带肩螺丝就能够在所述螺母架孔中运动，以调节所述螺母装置，从而保持所述螺母装置与所述导螺杆之间的同心关系。

2.权利要求1所述的自动对准线性运动仪器，其中所述的导螺杆与电机耦合，其中所述电机在其发动时，能带动所述导螺杆转动。

3.权利要求1所述的自动对准线性运动仪器，其中所述的螺母是一个螺纹螺母。

4.权利要求1所述的自动对准线性运动仪器，还包括一块支撑板，其中所述螺母架是所述支撑板的一部分，其中所述支撑板设置成与处理系统的处理室中的下电极耦合，所述支撑板设置成在基底处理过程中至少方便所述下电极的垂直调节。

5.权利要求1所述的自动对准线性运动仪器，其中所述螺母包括一个螺母体和一个螺母法兰，所述螺母法兰位于所述螺母体的上面，并且其直径大于所述螺母体的直径。

6.权利要求5所述的自动对准线性运动仪器，其中所述悬置轴环设置成环绕所述螺母体，并布置在所述螺母法兰下面。

7.权利要求6所述的自动对准线性运动仪器，其中所述悬置轴环设置成包含位于螺母法兰表面位置的一对增高固定器件，其中所述增高固定器件对中的每一个增高固定器件插入所述螺母法兰中设置的一个螺母法兰孔里，其中所述螺母法兰孔的一个尺寸大于所述增高固定器件的横断面尺寸，当所述导螺杆转动时，所述增高固定器件就能够在所述螺母法兰孔中运动，以调节所述螺母装置，从而保持所述螺母装置与所述导螺杆之间的所述同心关系。

8.权利要求6所述的自动对准线性运动仪器，其中所述螺母装置包含一个位于所述螺母法兰和所述悬置轴环之间的转接环，其中位于所述悬置轴环上面的螺母法兰表面处的一对增高固定器件插入所述转接环里设置的一对转接环孔中，其中所述转接环孔对中的每一个转接环孔的尺寸大于所述增高固定器件对中的每一个增高固定器件的横断面尺寸，当所述导螺杆转动时，所述增高固定器件就能够在所述环孔中运动，以调节所述的螺母装置，从而保持所述螺母装置与所述导螺杆之间的所述同心关系。

9.一种带有处理室的进行基底处理的处理系统，包含：

一根导螺杆；

一个设置成环绕所述导螺杆的螺母装置，其中所述螺母装置包含至少一个螺母、一个螺母架和一个悬置轴环，其中一个带肩螺丝穿插过所述螺母架的一个螺母架孔和所述螺母的一个螺母孔，以至少部分安置在所述悬置轴环里，其中所述螺母架孔的尺寸大于所述带肩螺丝的横断面尺寸，当所述导螺杆转动时，所述带肩螺丝就能够在所述螺母架孔中运动，以调节所述螺母装置，从而保持所述螺母装置与所述导螺杆之间的同心关系；和

一块连接到所述螺母架上的支撑板，其中所述支撑板设置成与所述处理室中的下电极耦合，其中所述支撑板设置成在基底处理过程中至少方便所述下电极的垂直调节。

10.权利要求9所述的处理系统，其中所述导螺杆耦合到电机上，其中所述电机在其发动时，能带动所述导螺杆转动。

11.权利要求9所述的处理系统，其中所述螺母是一个螺纹螺母。

12.权利要求9所述的处理系统，其中所述螺母包括一个螺母体和一个螺母法兰，其中所述螺母法兰位于所述螺母体的上面，并且其直径大于所述螺母体的直径。

13.权利要求12所述的处理系统，其中所述悬置轴环设置成环绕所述螺母体，并布置在所述螺母法兰下面。

14.权利要求13所述的处理系统，其中所述悬置轴环设置成包含位于螺母法兰表面位置的一对增高固定器件，其中所述增高固定器件对的每一个增高固定器件插入所述螺母法兰里设置的一个螺母法兰孔中，其中所述螺母法兰孔的尺寸大于所述增高固定器件的横断面尺寸，当所述导螺杆转动时，所述增高固定器件就能够在所述螺母法兰孔中运动，以调节所述的螺母装置，从而保持所述螺母装置与所述导螺杆之间的所述同心关系。