[发明专利]振荡结构以及采用该振荡结构的振荡器设备

权利要求书

1.一种振荡结构，包括：

支撑部件；

第一振荡部件；

第二振荡部件；

第一弹性支撑部件，被构造用于连接所述支撑部件与所述第一振荡部件，以及用于支撑所述第一振荡部件以便所述第一振荡部件绕所述支撑部件作为中心轴线振荡运动；以及

第二弹性支撑部件，被构造用于连接所述第一振荡部件与所述第二振荡部件，以及用于相对于所述第一振荡部件能够运动地支撑所述第二振荡部件，

其中，所述第一弹性支撑部件从所述支撑部件延伸至所述第一振荡部件的方向与所述第二弹性支撑部件从所述第一振荡部件延伸至所述第二振荡部件的方向彼此相反。

2.根据权利要求1所述的振荡结构，其中，所述第一和第二振荡部件以及所述第一和第二弹性支撑部件由单个板状部件制成。

3.根据权利要求1所述的振荡结构，其中，制造所述第一振荡部件的一部分和所述第一弹性支撑部件的板状部件与制造所述第一振荡部件的另一部分、所述第二弹性支撑部件和所述第二振荡部件的板状部件是分离的板状部件，且其中，所述第一振荡部件的上述两个部分连接到一起。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的振荡结构，其中，所述第一弹性支撑部件和所述第二弹性支撑部件中的至少一方包括多个扭转弹簧。

5.根据权利要求4所述的振荡结构，其中，所述第一弹性支撑部件和所述第二弹性支撑部件中的包括多个扭转弹簧的一方被构造成把所述第一弹性支撑部件和所述第二弹性支撑部件中的另一方夹在其间。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的振荡结构，其中，所述第一弹性支撑部件和所述第二弹性支撑部件具有公共的扭转中心轴线。

7.一种振荡结构，包括：

支撑部件；

多个振荡部件；以及

多个弹性支撑部件，

其中，按照从所述支撑部件起的顺序，所述弹性支撑部件和所述振荡部件交替地连接，以及

与第n个振荡部件连接的第n个弹性支撑部件的延伸方向和与第n+1个振荡部件连接的第n+1个弹性支撑部件的延伸方向彼此相反，这里n是从所述支撑部件侧数起不小于1的整数。

8.一种振荡器设备，包括：

如权利要求1-7中任一项所述的振荡结构；以及

驱动装置，被构造用于给所述振荡结构的所述第一和第二振荡部件中的至少一方施加扭矩。

9.一种光学偏转设备，包括：

如权利要求8所述的振荡器设备；以及

光学偏转部件，至少设置在所述振荡器设备的所述第二振荡部件处。

10.一种成像设备，包括：

如权利要求9所述的光学偏转设备；

光源；

成像光学系统；以及

要照射的对象，

其中，来自所述光源的光束利用所述光学偏转设备扫描，且所扫描的光被集合到所述对象上。