[发明专利]具有热膨胀平衡层或加强层的微机电装置

权利要求书

1.一种装置，其包含：

电极；

固定至少部分反射体；

可移动柔性层；

可移动至少部分反射体，其耦合到所述可移动柔性层，其中干涉调制腔由所述可移动至少部分反射体及所述固定至少部分反射体界定，所述可移动至少部分反射体可在至少第一位置与第二位置之间移动；以及

热膨胀平衡层，其在所述可移动柔性层的与所述可移动反射体相对的一侧上，其中在所述可移动反射体的热膨胀系数大于所述可移动柔性层的热膨胀系数的情况下，所述热膨胀平衡层具有大于或等于所述可移动柔性层的热膨胀系数的热膨胀系数，或在所述可移动反射体的所述热膨胀系数小于所述可移动柔性层的热膨胀系数的情况下，所述热膨胀平衡层具有小于或等于所述可移动柔性层的热膨胀系数的热膨胀系数。

2.根据权利要求1所述的装置，其中在所述可移动柔性层的仅与所述可移动反射体耦合到所述可移动柔性层的位置周围相对的一侧上，所述热膨胀平衡层接触所述可移动柔性层。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述热膨胀平衡层及所述可移动反射体具有大致相同的热膨胀系数。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述热膨胀平衡层为与所述可移动反射体大致相同的厚度。

5.根据权利要求1所述的装置，其进一步包含：

显示器；

处理器，其经配置以与所述显示器通信，所述处理器经配置以处理图像数据；以及

存储器装置，其经配置以与所述处理器通信。

6.根据权利要求5所述的装置，其进一步包含驱动器电路，所述驱动器电路经配置以将至少一个信号发送到所述显示器。

7.根据权利要求6所述的装置，其进一步包含控制器，所述控制器经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路。

8.根据权利要求5所述的装置，其进一步包含图像源模块，所述图像源模块经配置以将所述图像数据发送到所述处理器。

9.根据权利要求8所述的装置，其中所述图像源模块包含接收器、收发器及发射器中的至少一者。

10.根据权利要求5所述的装置，其进一步包含输入装置，所述输入装置经配置以接收输入数据并将所述输入数据传送到所述处理器。

11.一种装置，其包含：

电极；

固定至少部分反射体；

可移动柔性元件；

可移动至少部分反射体；以及

加强层，其中所述加强层耦合到所述可移动柔性元件，其中在所述可移动反射体与所述加强层彼此接触的至少一个表面上存在至少一个中空空隙，且其中干涉调制腔由所述可移动反射体及所述固定反射体界定。

12.根据权利要求11所述的装置，其中所述至少一个中空空隙在所述可移动反射体中。

13.根据权利要求11所述的装置，其中所述可移动反射体不接触所述可移动柔性元件。

14.根据权利要求11所述的装置，其中所述加强层为所述可移动柔性元件的一组成部分。

15.根据权利要求11所述的装置，其进一步包含：

显示器；

处理器，其经配置以与所述显示器通信，所述处理器经配置以处理图像数据；以及

存储器装置，其经配置以与所述处理器通信。

16.根据权利要求15所述的装置，其进一步包含驱动器电路，所述驱动器电路经配置以将至少一个信号发送到所述显示器。

17.根据权利要求16所述的装置，其进一步包含控制器，所述控制器经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路。

18.根据权利要求15所述的装置，其进一步包含图像源模块，所述图像源模块经配置以将所述图像数据发送到所述处理器。

19.根据权利要求18所述的装置，其中所述图像源模块包含接收器、收发器及发射器中的至少一者。

20.根据权利要求15所述的装置，其进一步包含输入装置，所述输入装置经配置以接收输入数据并将所述输入数据传送到所述处理器。