[发明专利]有机EL器件有效
| 申请号： | 200980106115.6 | 申请日： | 2009-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102090142A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 安达和哉 | 申请（专利权）人： | 富士电机控股株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/04 | 分类号： | H05B33/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘春成 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 el 器件 | ||
【权利要求书】：
1.一种有机EL器件，其特征在于，包括：
基板；形成在所述基板上的有机EL元件；和形成在所述有机EL元件之上的密封膜，
其中，所述密封膜是含有H的氮化硅膜，
所述含有H的氮化硅膜中的H含量为0.85～0.95at％。
2.如权利要求1所述的有机EL器件，其特征在于：
所述氮化硅膜的膜厚为1000～5000nm。
3.如权利要求1所述的有机EL器件，其特征在于：
所述氮化硅膜的内部应力的绝对值为50MPa以下。
4.一种有机EL器件的制造方法，其特征在于，该制造方法至少包括：
在基板上形成有机EL元件的步骤；和在所述有机EL元件上形成密封膜的步骤，
其中，形成所述密封膜的步骤中，至少包括为了形成含有氢原子或氢分子的氮化硅膜，将SiH4、NH3、N2、H2以所述H2的添加流量相对于所述N2的流量为1～5体积％的方式进行混合的阶段。
5.如权利要求4所述的有机EL器件的制造方法，其特征在于：
在形成所述密封膜的步骤中，所述氮化硅膜的成膜速度为2.8nm/sec以下。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士电机控股株式会社，未经富士电机控股株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200980106115.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：LED芯片接合装置
- 下一篇：一种带透明视察窗的变压器油箱
