[发明专利]微支架

权利要求书

1.一种用来将元器件自校正地安装和固定在微系统中的装置，其特征在于，设有至少一个导电的弹簧结构和至少一个止挡，此弹簧结构用来实现元器件的校正、固定和触通，所述元器件推顶到所述至少一个止挡上，其中所述至少一个弹簧结构和所述至少一个止挡设在不导电的基底上。

2.按权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少一个弹簧结构和所述至少一个止挡通过光刻在与微系统结构相同的掩膜中制成。

3.按权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述结构通过光蚀工艺制成。

4.按权利要求3所述的装置，其特征在于，光蚀工艺在掺杂的半导体材料中进行。

5.按权利要求1至4中任一项所述的装置，其特征在于，所述结构由掺杂的硅构成。

6.按权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述结构通过电解成型在光刻胶中制成。

7.按权利要求1至6中任一项所述的装置，其特征在于，玻璃用作所述不导电的基底。

8.按权利要求1至7中任一项所述的装置，其特征在于，用来使结构实现电触通的印制导线设在所述不导电的基底上。

9.按权利要求1至8中任一项所述的装置的应用，用来在微系统中，尤其在微质谱仪、电子倍增器、夜视系统、光电倍增器、粒子计数器、辐射剂量计中使微通道板实现安装、固定和导电触通。

10.一种装置，至少包括一个微通道板和一个按权利要求1至8中任一项所述的装置，此装置用来自校正地安装和固定所述微通道板。

11.按权利要求10所述的装置，它还包括至少一个屏蔽电极，以便保护微系统不受微通道板上的高电压的影响。

12.按权利要求10或11所述的装置，还包括电子捕集器。

13.按权利要求10至12中任一项所述的装置，其特征在于，所有的结构通过光刻在相同的掩膜中制成。

14.按权利要求10至13中任一项所述的装置，其特征在于，此装置被不导电的基底覆盖。

15.应用按权利要求10至14中任一项所述的装置的应用，用于在微系统中，尤其用在微质谱仪、电子倍增器、夜视系统、光电倍增器、粒子计数器、辐射剂量计中。