[发明专利]用于对齐光学封装件的方法和系统

权利要求书

1.一种用于对齐包括激光器、波长转换装置和至少一个可调光学组件的光学封装件的方法，所述方法包括：

利用所述可调光学组件将所述激光器的束斑指引到波长转换装置的输入面上；

测量所述波长转换装置的输出强度；

通过使所述可调光学组件以所述可调光学组件的驱动机构的近似谐振频率关于第一扫描轴振荡，来执行所述波长转换装置的输入面上所述束斑的第一扫描；

沿正交扫描线使所述束斑的扫描步进，以生成所述波长转换装置的输入面上多条快扫描线的多个输出强度；

基于所述多条快扫描线的多个输出强度来确定沿所述正交扫描线的第一对齐设定点；

沿包含所述第一对齐设定点的快扫描线在所述波长转换装置的输入面上执行所述束斑的第二扫描，以生成沿所述第二扫描的点的输出强度；

基于所述第二扫描期间生成的输出强度确定沿所述第二扫描的第二对齐设定点，其中所述第一对齐设定点和所述第二对齐设定点限定束斑与所述波长转换装置的波导部分对齐的位置；以及

利用所述第一对齐设定点和所述第二对齐设定点将所述束斑定位在所述波长转换装置的波导部分上。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过使所述可调光学组件以所述可调光学组件的驱动机构的近似谐振频率关于所述第一扫描轴振荡，来执行所述第二扫描。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一扫描是相对快扫描且所述第二扫描是相对慢扫描。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过确定具有最大平均输出强度的快扫描线来确定所述第一对齐设定点。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过确定具有最大输出强度的快扫描线来确定所述第一对齐设定点。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过基于所述第二扫描期间生成的输出强度确定具有最大输出强度的点，来确定所述第二对齐设定点。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括沿包含所述第一对齐设定点的快扫描线插入所述第二对齐设定点，使得所述波长转换装置的输出强度最大化。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括沿包含所述第一对齐设定点和所述第二对齐设定点的快扫描线的一部分在所述波长转换装置的输入面上执行所述束斑的第三扫描，同时测量所述波长转换装置的输出强度，其中所述第三扫描的速度和所述第三扫描的周期的乘积小于所述波长转换装置的波导部分的模式直径的预定百分比；以及

基于所测量的输出强度调节所述第二对齐设定点，使得所述波长转换装置的输出强度最大化。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光学封装件还包括透镜组和控制器，其中：

所述透镜组和所述可调光学组件被配置成将所述激光器的束斑指向所述波长转换装置的输入面、并改变束斑在所述波长转换装置的输入面上的位置；以及

所述控制器被编程为控制所述可调光学组件的位置或状态。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述可调光学组件是MEMS镜，并且所述透镜组和所述可调光学组件进一步被配置成限定折叠的光路，使得沿从所述激光器至所述波长转换装置的光路传播的激光在被所述可调光学组件反射之前首先由所述透镜组准直或近准直，并在被MEMS镜反射之后由同一透镜组聚焦在波长转换装置的输入面上。

11.如权利要求9所述的方法，其特征在于，通过利用所述第一对齐设定点和所述第二对齐设定点定位所述可调光学组件，所述控制器将所述束斑定位在所述波长转换装置的波导部分上。

12.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述光学封装件还包括耦合到所述控制器的光学检测器；以及

当所述束斑在所述波长转换装置的输入面上的位置改变时，利用所述光学检测器测量所述波长转换装置的输出强度，以测量所述波长转换装置的经波长转换输出的输出强度。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，基于由所述控制器从所述光学检测器接收的信号，由所述控制器执行确定所述第一对齐设定点和确定所述第二对齐设定点。