[发明专利]制造衍射光学元件的方法有效
| 申请号： | 200980107493.6 | 申请日： | 2009-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101960336A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 栗巢贤一;今村秀明 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社;住友电工硬质合金株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 陈源;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 衍射 光学 元件 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制造衍射光学元件的方法，所述衍射光学元件由绝缘基板组成，绝缘基板的表面具有凹凸结构，所述方法包括：
选择步骤，通过测量绝缘基板的电阻率来选择电阻率等于或者大于特定值的绝缘基板；以及
刻蚀步骤，通过对所述选择步骤所选的绝缘基板的表面进行干法刻蚀来形成凹凸结构。
2.如权利要求1所述的制造衍射光学元件的方法，其中，所述绝缘基板由ZnSe组成，并且所述特定值等于1011Ωcm或者更高。
3.如权利要求2所述的制造衍射光学元件的方法，其中通过CVD方法形成所述绝缘基板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友电气工业株式会社;住友电工硬质合金株式会社，未经住友电气工业株式会社;住友电工硬质合金株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200980107493.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多组分动态搅拌装置
- 下一篇：一种门框的连接固定装置
