[发明专利]非接触输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及以非接触状态输送基样玻璃基板或半导体晶片基板等平板状的输送物的非接触输送装置。

背景技术

近年来，液晶显示器、等离子体显示器、触摸屏显示器等平板显示器的生产台数增大，另一方面，这些平板显示器不断大型化。进一步，每片面板的成本由能够从一片基样玻璃基板切出多少片面板、即面板获取数决定，因此，基样玻璃基板逐年大型化。并且，半导体晶片基板的薄型化急速发展，在薄型的基样玻璃基板或半导体晶片基板中，存在由输送时产生的破损导致的成品率的恶化的问题，在进行输送时，优选条件是不会附着污垢、不会产生应力、不会受到损伤。

以往，基板的输送利用基于输送辊或叉式升降车(fork lift)等的接触输送方式进行。在这种基于输送辊或叉式输送车等的接触输送方式中，如果基板大型化，则与此对应地为了缓和施加于基板的应力而需要增加辊的个数或叉的根数，但是，用于使多个辊或叉的高度严密地对齐的调整操作和保养管理非常耗费劳力。

因此，提出有如下的非接触输送装置：利用由流体压力浮起机构从下方放出的流体的压力使输送路径上的输送品浮起，并利用在激发挠曲行波的弹性振动板与输送品表面之间产生的声音粘性流朝预定方向输送在输送路径上浮起的输送品(例如参照日本国特开2006-76690号公报)。在该非接触输送装置中，沿着输送路径配置有多个由弹性振动板和激振致动器构成的驱动单元。

但是，在上述非接触输送装置中，由于需要沿着输送路径配置多个由弹性振动板和激振致动器构成的驱动单元，因此装置大型化、并且部件数量多，因此成本变高。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能够削减部件数量、实现装置的小型化、且能够以非接触的方式输送输送物的非接触输送装置。

本发明(例如参照图1、图2、图6、图7)涉及一种非接触输送装置，该非接触输送装置沿输送方向输送输送物(S)，其特征在于，具备：浮起机构(1)，该浮起机构使输送物(S)朝上方浮起；输送机构(10A、10B、110A、110B、210)，该输送机构具有振动板(11、111、211)和致动器(12)，上述振动板配置成以非接触状态与输送物对置，上述致动器对上述振动板赋予振动而激振挠曲驻波；以及移动机构(20、120)，该移动机构使上述输送机构沿上述输送方向移动，通过利用上述致动器(12)在上述振动板(11......)激振挠曲驻波，对与上述振动板(11......)对置的输送物(S)的前端部(Sa)和后端部(Sb)中的至少一方的端部赋予保持力，该保持力将上述输送物的端部拉向与上述振动板(11......)对置的位置并进行保持，在对输送物的端部(Sa、Sb)赋予该保持力的状态下，利用上述移动机构(20、120)使上述输送机构(10A、10B......)沿上述输送方向移动，由此，追随上述输送机构的移动沿上述输送方向输送输送物。

由此，由于利用输送机构对输送物的端部赋予保持力并进行输送，因此能够以非接触状态输送输送物，并且，通过利用移动机构使输送机构移动，能够追随输送机构的移动而输送输送物，因此，不需要沿着输送方向配置激振挠曲行波的多个振动板，能够削减部件数量，能够使装置小型化。

并且，在上述非接触输送装置中，上述输送机构(10A、10B......)作为上述振动板具有前端部侧振动板(11A、111A、211A)和后端部侧振动板(11A、111A、211A)，上述前端部侧振动板以与输送物的前端部(Sa)对置的方式配置，上述后端部侧振动板以与输送物的后端部(Sb)对置的方式配置。

由此，由于振动板与输送物的前端部和后端部对置地配置，因此对输送物的保持力变高，能够利用两个振动板以非接触状态稳定地输送输送物。

并且，在上述非接触输送装置中(例如参照图1和图2)，上述非接触输送装置具备限制机构(10C、10D)，该限制机构具有侧端部侧振动板(11C、11D)和侧端部侧致动器(12C、12D)，上述侧端部侧振动板配置成以非接触状态与输送物的侧端部(Sc、Sd)对置，上述侧端部侧致动器对上述侧端部侧振动板赋予振动而激振挠曲驻波，通过利用上述侧端部侧致动器(12C、12D)在上述侧端部侧振动板(11C、11D)激振挠曲驻波，对与上述侧端部侧振动板(11C、11D)对置的输送物的侧端部(Sc、Sd)赋予保持力，该保持力将该输送物的侧端部拉向与上述侧端部侧振动板(11C、11D)对置的位置并进行保持，从而限制输送物在与上述输送方向正交的宽度方向的移动。