[发明专利]表面处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种采用氟气进行试料的表面处理、表面改性等的表面处理装置。

背景技术

以往，一直进行通过氟气对有机物等进行处理的表面改性或表面处理，例如，公知的有下述专利文献所表示的表面处理装置。专利文献1所公开的表面处理装置包括具备分别与氟气源和惰性气体源联络的供给管的气体调整槽，通过气体导管与上述气体调整槽联络的处理槽，以及废气处理装置，是适合于小规模的表面处理或采用稀薄的氟气进行的表面处理。

专利文献1：特开2000-319433号公报

在采用容量大的处理槽进行表面处理的情况下，由于处理槽内的被处理物的堵塞位置或气体的流路或气体的沉淀等影响容易产生处理不均。作为防止处理不均的方法，例如有在加热的条件下进行表面处理的方法，是具备将被处理物在处理槽中加热到规定温度的加热机构的方法。但是，在这种装置中，在处理槽内有可能在被处理物与用于处理该被处理物而供给的混合气体之间产生温度差，从而产生处理不均。而且，当向处理槽导入混合气体时，由于混合气体中所包含的反应性高的氟气的存在，在混合气体导入后立即开始反应，从而更容易产生处理不均。特别是，在处理槽的容量大的情况下，在混合气体在处理槽内均匀地扩散、处理槽内的条件均匀之前，表面处理即从气体导入部附近开始，有可能会产生处理不均。为了减少这样的问题，是向处理槽供给预先加热了的混合气体，以使被处理物与混合气体的温度差不容易产生，但在至反应器较短的流路上要在短时间内加热混合气体，另外还要以高于所希望的加热(处理)温度数十度以上的高温从气体所流动的配管的外侧加热混合气体。因此，混合气体中所包含的氟气的温度急剧上升，氟气因成为了高温而反应性更高，因而即使采用耐腐蚀性高的材质形成在气体导管或阀等中使用的金属制的部件及在其内部用作衬垫等的树脂材料，也有可能因其高的反应性而局部受到腐蚀等损伤。

而且，在上述装置中，表面处理后的处理槽内的气体中大多含有氟气，在处理槽增大的情况下应处理的氟气量增多。众所周知，该氟气是一种反应性、毒性以及腐蚀性强的气体，当一时从处理槽排出含有大量氟气的气体时，则有可能因对氟气进行处理的除害剂的发热量增大等，负荷施加在设于处理槽下游的配管、部件、设备、除害剂等上而局部发热，或者作为结果而配管等腐蚀。特别是，也有在反应器的下游一侧设有使气体从反应器排气的排气装置，而设在该排气装置上的泵有可能损伤。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制构成装置的部件等的损伤以及被处理物的处理不均的表面处理装置。而且，本发明的目的还在于提供一种能够抑制装置因在表面处理、改性中使用的气体而损伤的表面处理装置。

本发明的表面处理装置具备：供给稀释气体的稀释气体供给装置，供给氟气的氟气供给装置，混合上述稀释气体与上述氟气而生成混合气体的混合器，以及使被处理物与上述混合气体相接触的反应器，其中，还具备对上述稀释气体进行加热的加热机构。优选地是，在混合上述稀释气体与上述氟气之前，上述加热机构对上述稀释气体进行加热。

根据上述结构，由于由加热器对稀释气体进行加热，混合加热后的稀释气体与氟气，所以氟气不易成为超过需要的高温，能够抑制在构成装置的部件等上产生腐蚀等损伤。而且，由于能够将加热后的混合气体向反应器供给，所以能够提供可抑制产生被处理物的处理不均的表面处理装置。

而且，在本发明的表面处理装置中，优选地是还具备喷射器，以上述稀释气体作为驱动源吸入上述氟气。在此，喷射器能够通过加快流速而成为减压状态，从而吸入气体。

根据上述结构，能够通过喷射器以稀释气体作为驱动源而从氟气供给装置吸入氟气。这样一来，由于能够降低氟气的供给压力，所以能够抑制氟气的高压储藏。能够更安全地储藏以及使用氟气。而且，能够以更正确的量供给供给量比稀释气体少的氟气。

而且，在本发明的表面处理装置中，优选地是还具备：与上述稀释气体供给装置与上述混合器相连的第1流量调整机构，设在上述第1流量调整机构的上游一侧以及下游一侧的压力计，以及经由配管与设在上述稀释气体供给装置和上述第1流量调整机构的上游一侧的压力计相连的压力调节阀。