[发明专利]离子源

权利要求书

1.一种离子源，是通过供给气体外加电弧电压而生成等离子体，自该等离子体生成离子束的离子源，其特征为：具有

等离子体容器，该等离子体容器具备供给气体而生成等离子体，且具有导体面的内部空间，和

一对热电子释放元件，与上述等离子体容器电性绝缘，自上述内部空间的内壁面突出，通过通电，将热电子释放至上述内部空间，和

电源，使电流各流入至上述一对热电子释放元件，

曝露于上述等离子体容器内的等离子体的内壁面的材料，和上述一对热电子释放元件的曝露于等离子体且释放热电子的部分的材料，是以相同金属为主成分的材料所构成。

2.权利要求1所记载的离子源，其中，上述金属为由钽、钨、钼以及以这些金属中的两个以上的金属制作出的合金中所选择出的。

3.权利要求1或2所记载的离子源，上述电源为对应于上述一对热电子释放元件而设置的能够各自控制的一对电源，

上述一对电源中的一方电源是将电流调整成加热至使热电子释放出的程度，以达到用上述一对热电子释放元件中仅一方热电子释放元件释放出热电子，可以调整等离子体的浓度的高低的程度。

4.权利要求3所记载的离子源，其中，在上述一对电源中，另一方电源调整电流成微弱加热到通过释放出热电子而不影响等离子体浓度高低的程度。

5.权利要求1-4中的任一项所记载的离子源，其中，上述一对热电子释放元件是对向设置在上述等离子体容器内的对向的内壁面。