[发明专利]单晶制造装置及单晶的制造方法

权利要求书

1.一种单晶制造装置，是根据切克劳斯基法来实行的单晶制造装置，至少具备主腔室，用以收容包含坩埚的热区零件；及拉拔腔室，用于收纳从已收容在前述坩埚内的原料熔液被提拉上来的单晶，然后加以取出；该单晶制造装置的特征在于：

进而具备要被配置在前述坩埚上且有冷却介质流通的冷却管、及使该冷却管上下移动的移动机构，

而在培育前述单晶后，利用前述移动机构，使前述冷却管朝向前述坩埚下降，来冷却前述热区零件。

2.如权利要求1所述的单晶制造装置，其中前述冷却管，是由无缝管卷绕出多个环状而成的冷却管。

3.如权利要求2所述的单晶制造装置，其中前述管是铜管。

4.如权利要求13中任一项所述的单晶制造装置，其中前述冷却管被设置在可与前述拉拔腔室作置换的降温腔室内。

5.如权利要求4所述的单晶制造装置，其中前述降温腔室具备用以导入冷却气体的气体导入口。

6.如权利要求15中任一项所述的单晶制造装置，其中安装有用于对前述冷却介质进行强制冷却的热交换器。

7.一种单晶的制造方法，是根据切克劳斯基法来实行的单晶的制造方法，至少包含将投入坩埚内的原料熔化的工序、从该原料熔液培育单晶并将该单晶收纳在拉拔腔室内的工序、及用以冷却包含前述坩埚的主腔室内的热区零件的工序，其特征在于：

前述热区零件的冷却工序，包含使冷却介质在被配置于前述坩埚上的冷却管中流通，且使该冷却管朝向前述坩埚下降来冷却前述热区零件的动作。

8.如权利要求7所述的单晶的制造方法，其中前述冷却管是使用由无缝管卷绕出多个环状而形成的冷却管。

9.如权利要求8所述的单晶的制造方法，其中使用铜管来作为前述管。

10.如权利要求79中任一项所述的单晶的制造方法，其中在前述热区零件的冷却工序中，通过与前述拉拔腔室作置换，将配置有前述冷却管的降温腔室配置于前述主腔室上，然后使前述冷却管朝向前述坩埚下降。

11.如权利要求710中任一项所述的单晶的制造方法，其中在前述热区零件的冷却工序中，使冷却气体流过前述主腔室内部。

12.如权利要求711中任一项所述的单晶的制造方法，其中通过热交换器对前述冷却介质进行强制冷却。

13.如权利要求712中任一项所述的单晶的制造方法，其中在前述热区零件的冷却工序中，使前述冷却管下降至进入前述坩埚内部为止。