[发明专利]靶交换式等离子发生装置

权利要求书

1.一种靶交换式等离子发生装置，所述靶交换式等离子发生装置具有等离子发生部、靶研磨部、及靶交换机构；该等离子发生部在真空气氛下在成为阴极的靶与阳极间由真空电弧放电产生等离子；该靶研磨部对所述靶的放电面进行研磨；该靶交换机构交换配置在所述等离子发生部的放电位置的靶和配置在所述靶研磨部的研磨位置的靶的位置；其特征在于：所述靶交换机构由主保持架、2个收容部、2个副保持架、2个副马达、2个滑块、及2个所述靶构成；该主保持架由主马达进行半旋转驱动；该2个收容部设在所述主保持架的直径方向的相向位置；该2个副保持架能够自由旋转地收容在2个所述收容部；该2个副马达使2个所述副保持架自转；该2个滑块使2个所述副保持架在其自转轴方向升降；该2个所述靶与2个所述副保持架嵌合；使所述主保持架半旋转而交换2个所述靶的位置，在所述主保持架不动时将2个所述靶独立地升降自转驱动到所述放电位置和所述研磨位置。

2.根据权利要求1所述的靶交换式等离子发生装置，其特征在于：在所述自转轴的前端设置能够与所述副保持架进行装拆的连接单元，在所述连接单元脱离时所述副马达和所述滑块从所述主保持架分离，仅收容了所述副保持架的所述主保持架进行半旋转而交换所述靶的位置，在所述连接单元卡接时使所述自转轴上升，所述副保持架从所述主保持架分离，将所述2个靶分别独立地配置在放电位置及研磨位置。

3.根据权利要求2所述的靶交换式等离子发生装置，其特征在于：所述连接单元由卡盘机构构成。

4.根据权利要求1所述的靶交换式等离子发生装置，其特征在于：在所述自转轴的前端固定所述副保持架，使所述自转轴上升，从而使所述副保持架从所述主保持架分离，将所述2个所述靶分别独立地配置在放电位置及研磨位置，使所述自转轴下降，从而使所述副保持架内装在所述主保持架的所述收容部，当使所述主保持架半旋转而交换所述靶的位置时，使所述副马达和所述滑块一体地进行半旋转。

5.根据权利要求1～4中任何一项所述的靶交换式等离子发生装置，其特征在于：当所述靶配置在了所述放电位置时，所述等离子发生部被配置在由放电分隔壁密闭了的等离子发生室内，当所述靶被配置在了所述研磨位置时，由研磨机构成的所述靶研磨部被配置在由研磨分隔壁密闭了的靶研磨室内，由所述研磨机从所述靶放出的研磨粉被密封在所述研磨室内。

6.根据权利要求1～5中任何一项所述的靶交换式等离子发生装置，其特征在于：所述等离子发生部形成在电中性的外壁和设于所述外壁的内侧的阳极内壁的内部。

7.根据权利要求6所述的靶交换式等离子发生装置，其特征在于：在所述靶近旁位置的所述外壁管的外周配置靶线圈，在所述等离子发生部的等离子出口侧配置滤波线圈，将由所述靶线圈产生的稳定化磁场形成为与由所述滤波线圈产生的等离子行进磁场反相或同相；所述反相即被形成一对，所述同相即被形成镜像。

8.根据权利要求1～7中任何一项所述的靶交换式等离子发生装置，其特征在于：在配置于所述等离子发生部的所述放电位置的靶的近旁，配置用于在所述靶的所述放电面引起电弧放电的撞锤，由转动单元使所述撞锤绕支点转动，测定所述撞锤的转矩反力，从而检测所述撞锤前端抵接在了所述放电面这一状态。