[发明专利]带散热片的功率模块用基板及其制造方法、以及带散热片的功率模块、功率模块用基板有效

专利信息
申请号: 200980109188.0 申请日: 2009-03-11
公开(公告)号: CN101971329A 公开(公告)日: 2011-02-09
发明(设计)人: 林浩正;北原丈嗣;殿村宏史;石塚博弥;黑光祥郎 申请(专利权)人: 三菱综合材料株式会社
主分类号: H01L23/12 分类号: H01L23/12;H01L23/36
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 闫小龙;王忠忠
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 散热片 功率 模块 用基板 及其 制造 方法 以及
【权利要求书】:

1.一种带散热片的功率模块用基板,其特征在于,

具有:功率模块用基板,该功率模块用基板具有具备第一面以及第二面的绝缘基板、在所述第一面形成的电路层、在所述第二面形成的金属层;散热片,与所述金属层直接接合,对所述功率模块用基板进行冷却,

在使所述电路层的厚度为A、使所述金属层的厚度为B的情况下,比率B/A设定在1.5≤B/A≤20的范围内。

2.如权利要求1所述的带散热片的功率模块用基板,其特征在于,

所述金属层在与所述散热片接合之前的状态下由纯度99.99%以上的铝构成。

3.一种带散热片的功率模块用基板的制造方法,其特征在于,

准备具有第一面以及第二面的绝缘基板和散热片;

在所述绝缘基板的所述第一面接合电路层,在所述绝缘基板的所述第二面接合金属层,由此,形成功率模块用基板;

对所述功率模块用基板与所述散热片进行层叠,以0.15~3MPa在层叠方向进行加压,由此,将所述功率模块用基板的所述金属层与所述散热片接合。

4.如权利要求3所述的带散热片的功率模块用基板的制造方法,其特征在于,

所述金属层在与所述散热片接合之前的状态下由纯度99.99%以上的铝构成。

5.一种带散热片的功率模块,其特征在于,具备:

权利要求1或者权利要求2所述的带散热片的功率模块用基板;

在所述带散热片的功率模块用基板的所述电路层上搭载的电子部件。

6.一种功率模块用基板,其特征在于,

具有:具有第一面以及第二面的绝缘基板;在所述第一面形成的电路层;在所述第二面形成的金属层,

在使所述电路层的厚度为A、使所述金属层的厚度为B的情况下,比率B/A设定在1.5≤B/A≤20的范围内。

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