[发明专利]带散热片的功率模块用基板及其制造方法、以及带散热片的功率模块、功率模块用基板有效
申请号: | 200980109188.0 | 申请日: | 2009-03-11 |
公开(公告)号: | CN101971329A | 公开(公告)日: | 2011-02-09 |
发明(设计)人: | 林浩正;北原丈嗣;殿村宏史;石塚博弥;黑光祥郎 | 申请(专利权)人: | 三菱综合材料株式会社 |
主分类号: | H01L23/12 | 分类号: | H01L23/12;H01L23/36 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 闫小龙;王忠忠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 散热片 功率 模块 用基板 及其 制造 方法 以及 | ||
1.一种带散热片的功率模块用基板,其特征在于,
具有:功率模块用基板,该功率模块用基板具有具备第一面以及第二面的绝缘基板、在所述第一面形成的电路层、在所述第二面形成的金属层;散热片,与所述金属层直接接合,对所述功率模块用基板进行冷却,
在使所述电路层的厚度为A、使所述金属层的厚度为B的情况下,比率B/A设定在1.5≤B/A≤20的范围内。
2.如权利要求1所述的带散热片的功率模块用基板,其特征在于,
所述金属层在与所述散热片接合之前的状态下由纯度99.99%以上的铝构成。
3.一种带散热片的功率模块用基板的制造方法,其特征在于,
准备具有第一面以及第二面的绝缘基板和散热片;
在所述绝缘基板的所述第一面接合电路层,在所述绝缘基板的所述第二面接合金属层,由此,形成功率模块用基板;
对所述功率模块用基板与所述散热片进行层叠,以0.15~3MPa在层叠方向进行加压,由此,将所述功率模块用基板的所述金属层与所述散热片接合。
4.如权利要求3所述的带散热片的功率模块用基板的制造方法,其特征在于,
所述金属层在与所述散热片接合之前的状态下由纯度99.99%以上的铝构成。
5.一种带散热片的功率模块,其特征在于,具备:
权利要求1或者权利要求2所述的带散热片的功率模块用基板;
在所述带散热片的功率模块用基板的所述电路层上搭载的电子部件。
6.一种功率模块用基板,其特征在于,
具有:具有第一面以及第二面的绝缘基板;在所述第一面形成的电路层;在所述第二面形成的金属层,
在使所述电路层的厚度为A、使所述金属层的厚度为B的情况下,比率B/A设定在1.5≤B/A≤20的范围内。
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