[发明专利]光分析计和分析计用波长稳定化激光装置有效
申请号: | 200980109944.X | 申请日: | 2009-03-27 |
公开(公告)号: | CN102066907A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 右近寿一郎;井户琢也;三村享 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场制作所 |
主分类号: | G01N21/27 | 分类号: | G01N21/27;G01N21/39;H01S5/022 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 徐申民 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分析 波长 稳定 激光 装置 | ||
1.一种分析计用激光装置,其特征在于,包括:
输出分析对象物的吸收波长附近的光的激光源;
波长选择元件,该波长选择元件接收所述激光源输出的光的一部分,从其波长成分中选择和所述分析对象物的吸收波长实质相等的波长的光并导出;
检测所述波长选择元件导出的光的强度的光检测单元;
驱动电流控制单元,其使得所述激光源的驱动电流在为使所述激光源输出所述吸收波长的光用的规定电流值附近增减,并将所述激光源的驱动电流设定为所述光检测单元的光强度检测值为峰值时的电流值;以及;
搭载所述激光源、所述波长选择元件和光检测单元的,能够调整到一定温度的单一基板。
2.如权利要求1所述的分析计用激光装置,其特征在于,所述单一基板采用珀耳帖模块作为温度调整单元。
3.如权利要求1所述的分析计用激光装置,其特征在于,所述激光源为半导体激光器。
4.如权利要求1所述的分析计用激光装置,其特征在于,所述波长选择元件设置在接受从所述激光源的主要光出射口的相反侧漏出的漏光的位置。
5.如权利要求1所述的分析计用激光装置,其特征在于,所述激光源为出射中红外区域的光的激光源。
6.如权利要求1所述的分析计用激光装置,其特征在于,在所述激光源和所述波长选择元件之间的光路上,设置有抑制从所述波长选择元件返回到所述激光源的返回光的返回光抑制单元。
7.一种光分析装置,其是基于从激光源出射的通过分析对象物的光的强度,对该分析对象物的浓度或密度进行测定的光分析装置,其特征在于,包括:
纤维型分析部,其构成为能够将导入到内部的光进行折射并传递,且将分析对象物导入到光的传递轨道上;
波长选择元件,其将选择波长设定为所述分析对象物的吸收波长频带;
检测所述纤维型分析部所选择的光的强度的测定用光检测单元;
检测从所述波长选择元件导出的光的强度的参照用光检测单元;
在所述激光源和所述纤维型分析部之间,所述纤维型分析部和所述测定用光检测单元之间,所述激光源和所述波长选择单元之间以及所述波长选择元件和参照用光检测单元之间分别通过光纤连接。
8.如权利要求7所述的光分析装置,其特征在于,所述激光源为出射近红外区域的光的半导体激光器。
9.如权利要求7所述的光分析装置,其特征在于,进一步包括激光源用温度调整机构,和波长选择元件用温度调整机构。
10.如权利要求7所述的光分析装置,其特征在于,在光纤中介装有隔离器,其构成为将所述波长选择元件的反射光导入到所述参照用光检测器,并抑制所述反射光返回所述激光源。
11.如权利要求10所述的光分析装置,其特征在于,从连接所述激光源和所述纤维型分析部的光纤分支出其他的光纤并连接到所述波长选择元件,从所述其他光纤进一步分支出其它光纤并连接到参照用光选择元件。
12.如权利要求7所述的光分析装置,其特征在于,所述纤维型分析部设有能够从光纤的侧周面导入分析对象物的有底沟道或有底穴,该有底沟道或有底穴到达光纤中光传送区域的一部分。
13.如权利要求12所述的光分析装置,其特征在于,所述纤维分析部弯曲。
14.如权利要求7所述的光分析装置,其特征在于,具有波长不同的多个激光源和分别与其对应的多个波长选择元件。
15.一种光分析装置,其是基于从激光源出射的通过分析对象物的光的强度,对该分析对象物的浓度或密度进行测定的光分析装置,其特征在于,包括:
纤维型分析部,其构成为能够将导入到内部的光进行折射并传递,且将分析对象物导入到光的行进轨道上;
参照用单元体,其内部保持有与所述分析对象物具有相同光学特性的参照物质;
测定用光检测单元,其对所述纤维型分析部所选择的光的强度进行检测;
检测从所述参照用单元体导出的光的强度的参照用光检测单元;
在所述激光源和所述纤维型分析部之间,所述纤维型分析部和所述测定用光检测单元之间,所述激光源和所述参照用单元体之间以及所述参照用单元体和所述参照用光检测单元之间分别通过光纤连接。
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