[发明专利]压电多层部件

权利要求书

1.一种作为中间产品的压电多层部件，具有：

-上下相叠布置的未烧结的压电陶瓷层(2)的叠层(1)，其中，

-第一电极层(3a)施加在压电陶瓷层(2)上并且包含第一金属，其中，

-牺牲层(4)施加在另一压电陶瓷层上并且在叠层方向上与所述第一电极层相邻，其中，

-所述牺牲层(4)与所述第一电极层(3a)相比包含更高浓度的第一金属。

2.根据权利要求1所述的压电多层部件，

其中所述牺牲层(4)是结构化的。

3.根据权利要求2所述的压电多层部件，

其中所述结构化的牺牲层(4)作为岛的布置施加在所述压电陶瓷层(2)上。

4.根据权利要求2或3所述的压电多层部件，

其中所述结构化的牺牲层(4)具有镂空(4b)，所述镂空(4b)不具有第一金属。

5.根据以上权利要求中任一项所述的压电多层部件，

其中所述第一电极层(3a)中的第一金属的浓度最多为80％。

6.根据以上权利要求中任一项所述的压电多层部件，

其中所述第一金属包括铜。

7.根据以上权利要求中任一项所述的压电多层部件，

其中所述第一电极层(3a)包含额外的第二金属，所述第二金属不同于所述第一金属。

8.根据权利要求7所述的压电多层部件，

其中与所述第一金属相比，所述第二金属能较差地扩散通过与所述第一电极层(3a)相邻的压电陶瓷层(2)。

9.根据以权利要求7或8所述的压电多层部件，

其中所述第二金属选自：钯、铍、铝、锰、锌、锡、铋、镍、钴、铬、钼、铌、铷。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的压电多层部件，

其中与所述第二金属相比，在所述第一电极层(3a)中存在更高浓度的第一金属。

11.根据以上权利要求中任一项所述的压电多层部件，

具有施加在压电陶瓷层(2)上的第二电极层(3b)，其中所述第二电极层(3b)包含与所述第一电极层(3a)相同的第一金属。

12.根据以上权利要求中任一项所述的压电多层部件，

其中所述第二电极层(3b)最高包含与所述牺牲层(4)浓度相同的第一金属。

13.一种用于制造压电多层部件的方法，其中烧结根据以上权利要求中任一项所述的作为中间产品制造的压电多层部件，其中所述第一金属至少部分地从所述牺牲层(4)扩散到所述第一电极层(3a)中并且与此同时留下空腔(7)，由此在机械上削弱两个压电陶瓷层之间的界面，在所述两个压电陶瓷层之间曾施加有所述牺牲层(4)。

14.根据权利要求13所述的方法，

其中相邻的压电陶瓷层(2)在烧结时在所述空腔(7)之间连接。

15.一种压电多层部件，其能直接根据以上权利要求所述的方法生产。