[发明专利]压电薄膜及其制造方法、角速度传感器、利用角速度传感器进行的角速度的测定方法、压电发电元件及使用压电发电元件的发电方法

权利要求书

1.一种压电薄膜，其特征在于，具有：

依次叠层有具有(100)的面方位的金属电极膜、(Bi，Na)TiO₃膜和具有(001)的面方位的(Bi，Na，Ba)TiO₃膜的叠层结构。

2.根据权利要求1所述的压电薄膜，其特征在于：

所述金属电极膜包含铂(Pt)。

3.根据权利要求1所述的压电薄膜，其特征在于：

还包括基板，

所述金属电极膜形成在所述基板上。

4.根据权利要求3所述的压电薄膜，其特征在于：

所述基板包含氧化镁(MgO)。

5.一种压电薄膜的制造方法，其特征在于，包括：

在具有(100)的面方位的金属电极膜的表面，通过溅射法形成(Bi，Na)TiO₃膜的工序；和

在所述(Bi，Na)TiO₃膜上，通过溅射法形成具有(001)的面方位的(Bi，Na，Ba)TiO₃膜，得到具有依次叠层有所述金属电极膜、所述(Bi，Na)TiO₃膜和所述(Bi，Na，Ba)TiO₃膜的叠层结构的压电薄膜的工序。

6.根据权利要求5所述的压电薄膜的制造方法，其特征在于：

所述金属电极膜包含铂(Pt)。

7.根据权利要求5所述的压电薄膜的制造方法，其特征在于：

所述金属电极膜形成在基板上。

8.根据权利要求7所述的压电薄膜的制造方法，其特征在于：

所述基板包含氧化镁(MgO)。

9.一种角速度传感器，其特征在于：

包括：具有振动部的基板；和与所述振动部接合的压电薄膜，

所述压电薄膜包括：压电层；夹持所述压电层的第一电极和第二电极；和夹在所述第一电极与所述压电层之间的界面层，

所述第一电极包括具有(100)的面方位的金属电极膜，

所述界面层包括(Bi，Na)TiO₃膜，

所述压电层包括具有(001)的面方位的(Bi，Na，Ba)TiO₃膜，

选自所述第一电极和第二电极中的一个电极由包括驱动电极和传感电极的电极组构成，该驱动电极向所述压电层施加使所述振动部振荡的驱动电压，该传感电极用于测定由于向正在振荡的所述振动部赋予的角速度而在所述振动部发生的变形。

10.根据权利要求9所述的角速度传感器，其特征在于：

所述金属电极膜包含铂(Pt)。

11.一种利用角速度传感器进行的角速度的测定方法，其特征在于：

所述角速度传感器包括：具有振动部的基板；和与所述振动部接合的压电薄膜，

所述压电薄膜包括：压电层；夹持所述压电层的第一电极和第二电极；和夹在所述第一电极与所述压电层之间的界面层，

所述第一电极包括具有(100)的面方位的金属电极膜，

所述界面层包括(Bi，Na)TiO₃膜，

所述压电层包括具有(001)的面方位的(Bi，Na，Ba)TiO₃膜，

选自所述第一电极和第二电极中的一个电极由包括驱动电极和传感电极的电极组构成，

所述测定方法包括：

通过经选自所述第一电极和第二电极中的另一个电极和所述驱动电极向所述压电层施加驱动电压，使所述振动部振荡的工序；和

通过所述另一个电极和所述传感电极对由于向正在振荡的所述振动部赋予的角速度而在所述振动部发生的变形进行测定，得到所述赋予的角速度的值的工序。

12.根据权利要求11所述的利用角速度传感器进行的角速度的测定方法，其特征在于：

所述金属电极膜包含铂(Pt)。