[发明专利]液晶显示面板的异物检测方法以及异物检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及检测有无混入液晶显示面板的基板之间的导电性异物的异物检测方法和异物检测装置。

背景技术

近年，液晶显示面板作为计算机、电视机等家电制品的显示部被广泛使用。液晶显示面板一般为如下结构：包括薄膜晶体管(TFT)阵列基板和滤色器(CF)基板的一对基板隔开规定的间隔被平行对置配置，在两基板之间填充有液晶。在TFT阵列基板中按矩阵状形成有多个像素电极，在CF基板中在大致整个面上形成有共用电极，能通过使施加到这些电极之间的电压发生变化来对液晶进行取向控制。

这种液晶显示面板是分别制作TFT阵列基板和CF基板之后，使两基板贴合，在这些基板之间封入液晶而制造的。通常，对制造好液晶显示面板进行点亮检查等质量检查。在点亮检查中，从液晶显示面板的背面照射光，并且对TFT阵列基板的像素电极和CF基板的共用电极分别施加检查用的信号电压使全部像素成为点亮状态，由此在液晶显示面板的显示画面中使检查用图像成为可视状态，操作者通过目视等检查缺陷像素的有无。

在这种情况下，在形成于TFT阵列基板的源极电极、栅极电极、像素电极与形成于CF基板的共用电极之间混入导电性异物，两个电极间发生短路的情况下，显示为线状、点状的显示缺陷。在这样的点亮检查中，如果导电性异物的大小超过TFT阵列基板的各电极和CF基板的共用电极之间的间隔，就能检测出两个电极间由导电性异物导致短路的缺陷位置，但是如果导电性异物的大小是TFT阵列基板的各电极和CF基板的共用电极之间的间隔的程度，则有时由导电性异物引起的两个电极间的短路不稳定，不会总是发生，有时无法作为这样的导电性异物混入的位置的线状、点状的显示缺陷进行检测。具有在这样的点亮检查中未检测出的导电性异物引起的两个电极间的短路不稳定的状态的液晶显示面板有可能在市场中发生显示缺陷。

因此，为了改善该情况，如日本特开昭63-293581号公报所记载的那样，用如图10所示的橡胶辊夹具50来按压液晶显示面板的表面，使上述导电性异物引起的两个电极间的短路从不稳定状态变成短路状态，使显示缺陷显现。

发明内容

发明要解决的问题

图11是表示混入有导电性异物的液晶显示面板20的截面构造的图。如图所示，TFT阵列基板21是在柔性玻璃基板22的上表面矩阵状地形成有像素电极23而构成的。在像素电极23上形成有绝缘膜25。另外，CF基板26是在同样为柔性的玻璃基板27的下表面形成有共用电极28而构成的。并且，在这两个电极23、28之间封入有液晶24。

另外，在TFT阵列基板21中交叉形成有多个栅极电极31和同样为多个的源极电极32，在由相邻的栅极电极31、31和相邻的源极电极32、32所围成的区域中分别形成有上述像素电极23。并且，在栅极电极31和源极电极32的交叉部附近形成有薄膜晶体管(TFT)33。TFT33根据施加到栅极电极31的栅极信号电压而导通/截止，来自源极电极32的源极信号电压经由半导体层34和漏极电极35施加到像素电极23。另外，在CF基板26中形成有对上述栅极电极31和源极电极32进行遮光的格子形状的黑矩阵36，由相邻的黑矩阵36、36围成的区域中形成有红色、蓝色、绿色等的着色层37。

如图11所示，由于某种原因，导电性异物38混入到像素电极23上，在该状态下形成绝缘膜25，因此导电性异物38被绝缘膜25覆盖。在这种情况下，导电性异物38的大小具有像素电极23和共用电极28之间的间隔的程度的大小。如图所示，成为如下不稳定状态：在该状态下由导电性异物38引起的两个电极23、28之间的短路没有发生，但是当由于某种原因绝缘膜25剥离，导电性异物38的顶端与共用电极28接触时，两个电极23、28间会发生短路。

为了使由这样的导电性异物38引起的两个电极23、28间的短路从不稳定状态变成使两个电极23、28间短路的状态，用上述橡胶辊夹具50来按压液晶显示面板20的表面使两个电极间23、28间隔变窄，由于隔着覆盖导电性异物38的绝缘膜25，如图12所示，有时导电性异物38的顶端也不与共用电极28接触，不会发生由两个电极23、28间的短路引起的显示缺陷。因此，仅通过使用橡胶辊夹具50来按压液晶显示面板20的表面，无法检测出这样的两个电极23、28间的短路不稳定的导电性异物38的混入。

因此，本发明所要解决的课题是：提供在液晶显示面板的基板之间混入的导电性异物引起的短路不稳定的情况下，也能可靠地使其短路，使导电性异物引起的显示缺陷显现的液晶显示面板的异物检测方法以及异物检测装置。