[发明专利]借牺牲保护构件的激光微加工

权利要求书

1.一种建构一激光微加工系统(100)以激光加工一工件(110)的一工作表面(108)上的一目标位置(106)处的一小特征的方法，其包含：

指引一沿着一射束路径传播的激光束(104)以入射于一工件(110)的一工作表面(108)上的一目标位置(106)处，以加工该工件(110)的一小特征；

在该射束路径中且在距该工作表面(108)一短距离处设定一聚焦透镜(112)，该聚焦透镜(112)经设定大小以将该激光束(104)会聚于该工作表面(108)上以激光加工该小特征且借此自该工件(110)朝向该聚焦透镜(112)往回喷出目标材料；及

在该聚焦透镜(112)与该工件(110)的该工作表面(108)之间定位一牺牲保护构件(114)，该牺牲保护构件(114)在未有可感知的失真及吸收的情况下传递由该聚焦透镜(112)聚焦且入射于该工作表面(108)上的该激光束(104)，且该牺牲保护构件(114)截断该喷出目标材料以防止一足够量的材料到达并借此可感知地污染该聚焦透镜(112)。

2.如权利要求1的方法，进一步包含在距该工件(110)的该工作表面(108)一小于50毫米的距离处设定该聚焦透镜(112)。

3.如权利要求1的方法，进一步包含将该牺牲保护构件(114)悬置于该工件(110)的该工作表面(108)的上方，以使得该牺牲保护构件(114)不接触该工作表面(108)。

4.如权利要求1的方法，进一步包含将该牺牲保护构件(114)铺设于该工件(110)的该工作表面(108)的顶部上且与该工作表面(108)接触。

5.一种将目标材料自一工件(110)移除的激光微加工系统(100)，其包含：

一激光束源(102)，其发射一沿着一射束路径传播以入射于一工件(110)的一工作表面(108)上的一目标位置(106)处的激光束(104)，该激光束(104)在该目标位置(106)处将目标材料自该工件(110)移除且借此产生在一远离该工作表面(108)的方向上射出的喷出目标材料；

一透镜(112)，其定位于该射束路径中以将该激光束(104)聚焦于该工件(110)的该工作表面(108)上的该目标位置(106)处，该透镜(112)设定于距该工件(110)的该工作表面(108)一工作距离(x1)处，该工作距离(x1)足够短以准许无阻碍射出的喷出目标材料到达该透镜(112)；及

一牺牲保护构件(114)，其定位于该透镜(112)与该工件(110)的该工作表面(108)之间，该牺牲保护构件(114)在未有可感知的失真及吸收的情况下传递由该透镜(112)聚焦且入射于该工作表面(108)上的该激光束(104)，且该牺牲保护构件(114)截断该喷出目标材料以防止一足够量的材料到达并借此可感知地污染该透镜(112)。

6.如权利要求5的激光微加工系统(100)，其中该经截断的喷出目标材料嵌入于该牺牲保护构件(114)中且使该牺牲保护构件(114)不可用于传递由该透镜(112)聚焦于该目标位置(106)处的该激光束(104)。

7.如权利要求5的激光微加工系统(100)，其中该工作距离(x1)小于50毫米。

8.如权利要求5的激光微加工系统(100)，其中该牺牲保护构件(114)为一沉积于该工件(110)的该工作表面(108)上的保角涂层(414)。

9.如权利要求8的激光微加工系统(100)，其中该保角涂层(414)为一蒸镀涂布。

10.如权利要求8的激光微加工系统(100)，其中该保角涂层(414)为一旋转涂布。

11.如权利要求5的激光微加工系统(100)，其中该牺牲保护构件(114)为一刚性片(314)。

12.如权利要求11的激光微加工系统(100)，其中该工件(110)通过一夹盘(204)而固持于适当位置中，且该刚性片(314)接触该工作表面(108)且通过该夹盘(204)而向下相抵于该工作表面(108)而固持。