[发明专利]聚合性组合物、滤色器、滤色器的制造方法和固体摄像元件

说明书

技术领域

本发明涉及聚合性组合物、滤色器、滤色器的制造方法和固体摄像元件。

背景技术

作为聚合性组合物，例如有在具有烯属不饱和键的聚合性化合物中加入光聚合引发剂而成的组合物。这样的聚合性组合物由于通过照射光发生聚合固化，因此在光固化性墨液、感光性印刷版、滤色器、各种光致抗蚀剂等中使用。

另外，作为聚合性组合物，例如也有通过光的照射而产生酸，将产生的酸作为催化剂的其他的方式。具体而言，利用将产生的酸作为催化剂的色素前体的发色反应，在用来图像形成、防伪、能量线量检测的材料中使用，或者在利用将产生的酸作为催化剂的分解反应的半导体制造用、TFT制造用、滤色器制造用、超小机器部件制造用等的正性抗蚀剂等中使用。

近年，在各种的用途中都特别地需要对短波长(365nm或405nm)的光源具有感受性的聚合性组合物，对于这样的对短波长的光源显示优良的感度的化合物而言，例如，其对光聚合引发剂的要求也逐渐提高。然而，一般地说，感度方面优良的光聚合引发剂在稳定性方面有欠缺，因此，需要一种在感度提高的同时也满足经时稳定性的光聚合引发剂。

因此，作为在聚合性组合物中使用的光聚合引发剂，在美国专利第4255513号说明书、美国专利第4590145号说明书、日本特开2000-80068号公报和日本特开2001-233842号公报中提出了肟酯衍生物。但是，这些公知的肟酯化合物对于波长365nm、波长405nm的吸光度低，因此从感度的观点出发，还并不是满足要求的化合物。

另外，作为聚合性组合物，现状也是期待一种经时稳定性优良并且对于365nm、405nm等短波长的光具有优良的感度的组合物。

进而，例如，在日本特开2000-314956号公报中，公开了含肟化合物的滤色器用的着色放射线敏感性组合物，该聚合物的经时稳定性以及对短波长的光的感度还并不充分。另外，在滤色器用的着色放射线敏感性组合物中，图案形成后的色相的再现性也是新的课题，迫切希望对因经时而着色性发生变化的问题进行改善。

另一方面，对于图像传感器用滤色器而言，为了实现基于CCD等的固体摄像元件的高聚光性以及基于高色分离性的画质提高，因此对于滤色器的高着色浓度、薄膜化有着高要求。为了得到高着色浓度而大量添加色材时，在忠实地再现2.5μm以下的细微的像素图案的形状时感度会不足，整体上存在多发生图案的缺失的趋势。此外，为了消除这种缺失，需要更高能量的光照射，因此曝光时间变长，制造上的成品率下降明显。基于以上的事实，对于滤色器用的着色放射线敏感性组合物来说为如下现状，从高浓度地含有色材(着色剂)且需要得到良好的图案形成性方面考虑，希望感度较高。

发明内容

本发明的第1个目的在于提供一种聚合性组合物，其对波长365nm、405nm的光的感度高，经时稳定性优异，进而能够形成可以抑制因加热经时而造成的变色的固化膜。

本发明的第2个目的在于提供一种滤色器，其图案形状良好，与支持体的密接性优异，进而，具有因加热经时而造成的变色得到了抑制的着色图案，本发明还提供可以以高生产率制造该滤色器的制造方法以及具备该滤色器的固体摄像元件。

本发明人等不断地进行了深入研究，结果发现，通过使用在特定位置具有双键或三键的肟化合物，对于波长365nm、405nm的光具有良好的吸光度，且经时稳定性也优异，进一步也可以抑制因加热经时而造成的着色。用于解决上述课题的具体的方法示出如下。

用于实现上述课题的具体的方法如以下所述。

<1>一种聚合性组合物，其特征在于，至少含有(A)下述通式(1)所表示的光聚合引发剂、(B)着色剂、(C)聚合性单体、(D)粘结剂聚合物和(E)溶剂。

上述通式(1)中，R¹表示芳香族基团，R²表示上述通式(2-1)～(2-3)中的任一个所表示的基团，R³表示碳数1～5的烷基或芳基，A表示单键或-C(＝O)-。另外，上述通式(2-1)～(2-3)中，X¹、X²和Y各自独立地表示氢原子、烷基或芳基，Z表示能够形成含碳-碳双键的任意的环结构的原子团。

一种滤色器，其特征在于，具有在支持体上使用上述<1>所述的聚合性组合物而形成的着色图案。

一种滤色器的制造方法，其特征在于，包括：

在支持体上涂布上述<1>所述的聚合性组合物形成聚合性组合物层的工序；