[发明专利]膜厚测定装置以及膜厚测定方法

权利要求书

1.一种膜厚测定装置，其具有光源、分光传感器、处理器和存储装置，

该膜厚测定装置构成为使来自上述光源的光垂直地入射到具有膜的测定对象面，使被测定对象面反射的光入射到上述分光传感器，

上述存储装置存储有每种膜厚的反射率分布的理论值和每种膜厚的颜色特性变量的理论值，

该膜厚测定装置构成为由上述处理器使用存储于上述存储装置中的、每种膜厚的反射率分布的理论值或每种膜厚的颜色特性变量的理论值，根据上述分光传感器所测定的反射率分布，求出测定对象面的膜的膜厚。

2.根据权利要求1所述的膜厚测定装置，其中，该膜厚测定装置还具有分束器，且该膜厚测定装置构成为，在测定时，使来自上述光源的光经过上述分束器而垂直地入射到测定对象面，被测定对象面反射之后，沿着垂直于测定对象面的方向行进，经过上述分束器而到达上述分光传感器。

3.根据权利要求2所述的膜厚测定装置，其中，该膜厚测定装置还具有包括开口部的反射率零点补偿用空洞和反射率校正板，

该膜厚测定装置构成为，

在进行反射率零点补偿时，使来自上述光源的光经过上述分束器而入射到上述反射率零点补偿用空洞的上述开口部，被反射之后沿着垂直于测定对象面的方向行进，经过上述分束器而到达上述分光传感器，

在进行反射率校正时，使来自上述光源的光经过上述分束器而垂直地入射到上述反射率校正板，被上述反射率校正板反射之后沿着垂直于上述反射率校正板的方向行进，经过上述分束器而到达上述分光传感器，

将测定时的上述分光传感器的输出设为V(M)、将反射率零点补偿时的上述分光传感器的输出设为V(D)、将反射率校正时的上述分光传感器的输出设为V(C)、将反射率校正板的反射率设为Rv(Ref)，上述存储装置保持该反射率校正板的反射率Rv(Ref)，上述处理器通过式Rv(T)＝Rv(Ref)·(V(M)-V(D))/(V(C)-V(D))来求出测定对象面的反射率Rv(T)。

4.一种膜厚测定方法，通过膜厚测定装置对测定对象面的膜厚进行测定，该膜厚测定装置具有：分光传感器、存储有每种膜厚的反射率分布的理论值和每种膜厚的颜色特性变量的理论值的存储装置、以及处理器，

该膜厚测定方法具有：

通过上述分光传感器测定具有膜的测定对象面的反射率分布的步骤；以及

由上述处理器使用存储于上述存储装置中的、每种膜厚的反射率分布的理论值或每种膜厚的颜色特性变量的理论值，根据上述分光传感器所测定的反射率分布，求出测定对象面的膜的膜厚的步骤。

5.根据权利要求4所述的膜厚测定方法，其中，在求出上述膜厚的步骤中，根据所测定的反射率分布的极值的有无和包含极值的曲线的曲率，确定要使用每种膜厚的反射率分布的理论值或每种膜厚的颜色特性变量的理论值中的哪个来求出膜厚。

6.根据权利要求5所述的膜厚测定方法，其中，在求出上述膜厚的步骤中，在所测定的反射率分布没有极值或包含极值的曲线的曲率对于确定极值的位置而言小的情况下，使用每种膜厚的颜色特性变量的理论值、而在除此之外的情况下使用反射率分布的理论值，来求出膜厚。

7.根据权利要求4至6中的任一项所述的膜厚测定方法，其中，关于所测定的反射率分布，在通过以测定了除膜后的基材的反射率分布与理论值一致的方式求出的补偿系数进行补偿后进行使用。