[发明专利]用于制备合成石英玻璃的方法

权利要求书

1.用于制备合成石英玻璃的外淀积方法，其中将非晶态石英玻璃粉颗粒(13)供入反应区(12)，该非晶态石英玻璃粉颗粒(13)在反应区(12)中经加热并淀积在围绕旋转轴旋转的载体(10)外侧上，其特征在于，粒度至少为3μm的非晶态石英玻璃粉颗粒(13)与含硅起始物质(14)一起供入反应区(2)中，该含硅起始物质(14)在反应区(2)中转变成SiO₂颗粒，该SiO₂颗粒以与石英玻璃粉颗粒(13)一起共淀积的方式沉积在载体(10)上，以形成含SiO₂层(11)，其中该石英玻璃粉颗粒(13)占SiO₂的重量份额为30％-95％。

2.权利要求1的外淀积方法，其特征在于，该石英玻璃粉颗粒的平均粒度为0.2μm-30μm，优选平均粒度为3μm-15μm。

3.权利要求1或2的外淀积方法，其特征在于，该石英玻璃粉颗粒(13)经燃烧器(1)的加料喷嘴(6-9)供入反应区(2)中。

4.权利要求3的外淀积方法，其特征在于，该石英玻璃粉颗粒(13)在载气流中与含硅起始物质(14)一起供入反应区(12)中。

5.前述权利要求之一的外淀积方法，其特征在于，该石英玻璃粉颗粒(13)呈球形。

6.前述权利要求之一的外淀积方法，其特征在于，该石英玻璃粉颗粒(13)以在含SiO₂层(11)中占SiO₂重量份额为40％-80％的量供入反应区(12)中。

7.前述权利要求之一的外淀积方法，其特征在于，使用预先在含氯气氛中经净化处理的石英玻璃粉颗粒(13)。

8.前述权利要求之一的外淀积方法，其特征在于，将在高温释出气体的添加剂与该石英玻璃粉颗粒(13)一起供入反应区(12)中。

9.前述权利要求之一的外淀积方法，其特征在于，该共淀积包括第一淀积阶段和至少一个第二淀积阶段，其中在第一淀积阶段中加入到反应区的石英玻璃粉颗粒(13)的特性或量与在第二淀积阶段中相比是不同的。

10.权利要求9的外淀积方法，其特征在于，在第一淀积阶段中无石英玻璃粉颗粒(13)供入反应区(2)中或与用于形成SiO₂层(11)的外区的第二淀积阶段相比更少量的和/或杂质含量或羟基含量更低的石英玻璃粉颗粒(13)供入反应区(2)中以形成SiO₂层(11)的内区。

11.前述权利要求之一的外淀积方法，其特征在于，使用具有多峰粒度分布的石英玻璃粉颗粒(13)，该石英玻璃粉颗粒的至少一个粒度分布最大值在0.2μm-2μm范围和至少一个粒度分布最大值在3μm-30μm范围。

12.前述权利要求之一的外淀积方法，其特征在于，该石英玻璃粉颗粒(13)通过在真空下加热到950℃-1200℃的温度脱气，使得将羟基含量调节到小于1重量ppm。

13.前述权利要求之一的外淀积方法，其特征在于，使用这样的芯棒作为载体，该芯棒具有芯体玻璃和围绕该芯体玻璃的壳体玻璃。