[发明专利]MEMS开关及其制造方法

权利要求书

1.一种MEMS开关，包括：

具有上表面的衬底；

分别具有固定触点的一对信号线，所述信号线位于所述衬底的上面；

位于所述衬底的上面的可移动板，所述可移动板具有可移动触点，所述可移动触点对应于所述固定触点；

具有弹性的支撑构件，所述支撑构件被配置为支撑所述可移动板以使得所述可移动板能够相对于所述衬底上下移动；

静电激励器，被配置为产生用于沿所述衬底的厚度方向移位所述可移动板的静电力以允许所述可移动触点与所述固定触点接触；

压电激励器，被配置为产生用于在所述衬底的厚度方向上移位所述可移动板的应力以允许所述可移动触点与所述固定触点接触，

其中，

所述静电激励器包括一对静电可移动电极板和一对静电固定电极板，所述静电可移动电极板布置在所述可移动板上，所述静电固定电极板与所述静电可移动电极板相对布置，

所述压电激励器包括具有压电层、第一电极和第二电极的压电元件，所述第一电极布置在所述压电层的一个表面上，所述第二电极布置在所述压电层的另一个表面上，所述压电元件被配置为当在所述第一电极和所述第二电极之间施加电压时变形，由此产生所述应力，

所述可移动板具有长度和宽度，所述可移动板在其长度方向中心处设置有所述可移动触点，所述可移动板在其两个长度方向端部设置有可移动电极保持部，所述静电可移动电极板分别布置在所述可移动电极保持部上，

所述支撑构件包括四个条带，每个所述条带具有弹性，所述条带布置在位于所述可移动板的两个宽度端部外面处并且位于所述可移动电极保持部的外面处的部分，

所述条带沿所述可移动板的长度方向放置，每个所述条带设置有第一端以及与所述第一端相对的第二端，每个所述第一端连接到所述可移动板，所述第二端连接到所述衬底，

每个所述压电元件布置在每个所述条带的上表面上，由此每个所述压电元件位于所述可移动板的两个宽度端部的外面，

当所述压电元件产生应力时，所述压电元件将应力施加到所述条带和所述可移动板之间的连接部。

2.如权利要求1所述的MEMS开关，其中

所述静电激励器具有比所述压电元件的上表面的尺寸大的尺寸。

3.如权利要求1所述的MEMS开关，其中

所述压电激励器被配置为分别具有被附加到所述条带的相同结构。

4.如权利要求1所述的MEMS开关，其中

每个所述固定触点与所述压电激励器的所述电极电绝缘。

5.如权利要求1所述的MEMS开关，其中

每个所述固定触点与所述静电激励器的所述静电可移动电极板电绝缘，以及

每个所述固定触点与所述静电激励器的所述静电固定电极板电绝缘。

6.如权利要求1所述的MEMS开关，其中

所述MEMS开关还包括接地电极，

所述压电激励器和所述静电激励器共享所述接地电极。

7.如权利要求1所述的MEMS开关，其中

所述压电层由铅基压电材料制成。

8.如权利要求1所述的MEMS开关，其中

所述可移动板还包括可移动触点保持部和连接部，

所述可移动触点布置在所述可移动触点保持部上，

所述可移动触点保持部位于所述可移动电极保持部之间，所述可移动触点保持部经由所述连接部连接到所述可移动电极保持部，

每个所述连接部具有比所述可移动触点保持部的宽度小的宽度，以及

每个所述连接部具有比所述可移动电极保持部的宽度小的宽度。

9.如权利要求1所述的MEMS开关，其中

所述可移动板具有被成形以暴露所述固定触点之外的部分的切口，由此所述的所述固定触点之外的部分向上方方向暴露。

10.如权利要求1所述的MEMS开关，其中

所述信号线和所述静电固定电极板两者都布置在所述衬底上，

每个所述信号线布置在所述衬底的同一平面上，以及

所述信号线具有彼此相等的厚度。