[发明专利]加工控制装置以及激光加工装置有效
| 申请号： | 200980112362.7 | 申请日： | 2009-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101990478A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 高桥圭二;迎友则;横井茂;山本达也 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加工 控制 装置 以及 激光 | ||
1.一种加工控制装置，其在激光加工装置使激光聚光于规定的焦点位置而对被加工物进行激光加工时，对所述激光的焦点位置进行控制，
其特征在于，具有：
计算部，其基于在激光加工中进行变化的所述激光的输出的大小，对激光的照射位置处在激光加工中进行变化的在光轴方向上的焦点位置的位置偏移变化量进行计算；以及
焦点位置控制部，其基于所述计算部计算出的位置偏移变化量，对激光加工中的所述激光的焦点位置进行控制，以消除所述焦点位置的位置偏移。
2.根据权利要求1所述的加工控制装置，其特征在于，
所述激光加工装置具有加工透镜，其使所述激光在规定的焦点位置处聚光，
所述焦点位置控制部通过对激光加工中的所述加工透镜在光轴方向上的位置进行控制，由此对所述激光的焦点位置进行控制。
3.根据权利要求1所述的加工控制装置，其特征在于，
所述激光加工装置还具有：
加工透镜，其使所述激光在规定的焦点位置处聚光；以及
偏向镜，其将所述激光向所述加工透镜引导，
所述焦点位置控制部通过对激光加工中的所述偏向镜的曲率进行控制，由此对所述激光的焦点位置进行控制。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的加工控制装置，其特征在于，
所述计算部使用所述激光的输出的大小，计算所述激光的每单位面积的光束强度，并且使用计算出的每单位面积的光束强度和从外部输入的所述加工透镜的热吸收率，计算所述位置偏移变化量。
5.一种激光加工装置，其通过对激光的焦点位置进行控制，由此使所述激光在规定的焦点位置处聚光，而对被加工物进行激光加工，
其特征在于，具有：
激光输出部，其输出激光；
计算部，其基于在激光加工中进行变化的所述激光的输出的大小，对激光的照射位置处在激光加工中进行变化的在光轴方向上的焦点位置的位置偏移变化量进行计算；以及
焦点位置控制部，其基于所述计算部计算出的位置偏移变化量，对激光加工中的所述激光的焦点位置进行控制，以消除所述焦点位置的位置偏移。
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