[发明专利]线栅型偏振器及其制造方法

权利要求书

1.一种线栅型偏振器，包括：透光性基板，在该透光性基板的表面以相互平行且隔开规定的间距(Pp)的方式形成有多条凸条；由金属或金属化合物形成的金属细线，该金属细线共计被覆3个面，即所述透光性基板的凸条的上表面以及沿该凸条的长度方向延伸的第一侧面和第二侧面这2个侧面；其特征在于，

满足下述条件(a)～(c)：

(a)被覆所述凸条的第一侧面的金属细线的厚度Dm1和被覆所述凸条的第二侧面的金属细线的厚度Dm2分别满足下式(1-1)和下式(1-2)：

0nm＜Dm1≤20nm…(1-1)

0nm＜Dm2≤20nm…(1-2)；

(b)被覆所述凸条的上表面的金属细线的厚度Hm和所述凸条的高度Hp满足下式(2)：

40nm≤Hm≤0.5×Hp…(2)；

(c)所述Dm1、所述Dm2、所述Pp和所述凸条的宽度Dp满足下式(3)：

Dm1+Dm2≤0.4×(Pp-Dp)…(3)。

2.如权利要求1所述的线栅型偏振器，其特征在于，还满足下述条件(d)：

(d)被覆所述凸条的上表面的金属细线的最大宽度Dm、所述Pp和所述凸条的宽度Dp满足下式(4)：

Dm-Dp≤0.4×(Pp-Dp)…(4)。

3.如权利要求1或2所述的线栅型偏振器，其特征在于，还满足下述条件(e)：

(e)被覆所述凸条的第一侧面的金属细线的宽度、即从凸条的上表面到沟的深度方向的长度Hm1，被覆所述凸条的第二侧面的金属细线的宽度、即从凸条的上表面到沟的深度方向的长度Hm2和所述凸条的高度Hp分别满足下式(5-1)和(5-2)：

Hm1≥0.5×Hp…(5-1)

Hm2≥0.5×Hp…(5-2)。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的线栅型偏振器，其特征在于，在可见光范围内，对于从形成有所述金属细线的面的一侧入射的光，偏振度在99.5％以上，p偏振光透射率在70％以上，s偏振光反射率在80％以上，并且对于从未形成所述金属细线的面的一侧入射的光，s偏振光反射率低于40％。

5.如权利要求1～4中的任一项所述的线栅型偏振器，其特征在于，所述金属细线由银、铝、铬、镁、TiN、TaN或TiSi₂形成。