[发明专利]使用喷涂方法来涂覆物品的方法和装置

权利要求书

1.一种喷涂方法，其中，产生小液滴的流体前体材料被进给到喷雾器内，所述喷雾器将流体雾化为小液滴，其特征在于，平均液滴直径的范围在0.5至5μm，且液滴的速度使得液滴被冲击到待涂覆的表面上。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，液滴的速度为20至120m/s。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述流体前体材料包括至少一种溶剂和溶解于溶剂中的至少一种材料。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述溶剂是乙醇且所溶解的材料是金属盐。

5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述流体前体材料包括至少一种单体。

6.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述液滴在喷雾腔室中被喷雾，在所述喷雾腔室中控制流体前体材料溶剂的蒸汽压力。

7.如前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在所述喷雾腔室中控制液滴蒸发使得在液滴冲击到待涂覆的表面上之前平均液滴直径范围在0.5至1μm。

8.如权利要求1至7中任一项所述的方法，其特征在于，在喷雾腔室中控制液滴蒸发使得存在于液滴中的溶剂在冲击之前基本上完全蒸发。

9.一种喷涂装置(1)，至少包括用于在喷雾腔室(10)中喷雾流体前体材料(20)的附件，其特征在于，所述喷雾腔室(10)至少具有用于控制喷雾腔室(10)的气氛(13)使得所述喷雾腔室(10)适应溶剂(16)的所需蒸汽压力的相关联附件，和与所述喷雾腔室(10)相关联用于喷雾所述流体前体材料使得所喷雾的流体的平均液滴大小为0.5至5微米的喷雾器(5)。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述喷雾腔室(10)包括用于控制喷雾腔室温度在20至650℃范围的附件(23)。

11.如权利要求9或10所述的装置，其特征在于，所述喷雾腔室(10)被形成为使得在流体滴(8)冲击到基片(12)上之前流体滴(8)的速度加速。

12.如权利要求9至11中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置包括用于将气体流引入到所述喷雾腔室(10)内的附件(9)。