[发明专利]惯性力传感器

权利要求书

1.惯性力传感器，包括：具有驱动电极、监视电极、检测电极的振子；对所述驱动电极通电驱动信号并使所述振子振动的驱动电路；基于起因于惯性力并从所述检测电极输出的检测信号检测角速度的检测电路；基于从所述监视电极输出的监视信号控制所述驱动信号的通电量的振动控制电路；以及对所述检测电路输入模拟角速度信号并进行故障诊断的故障诊断电路，

所述检测电路具有对所述检测信号进行滤波的滤波器电路，在所述故障诊断时，切换所述滤波器电路的特性。

2.如权利要求1所述的惯性力传感器，所述滤波器电路根据时钟频率决定其响应性，所述故障诊断电路在故障诊断时使所述滤波器电路中的截止频率大于通常时的截止频率来进行故障诊断。

3.如权利要求1所述的惯性力传感器，所述滤波器电路根据时钟频率决定其响应性，所述故障诊断电路在故障诊断时使所述时钟频率大于通常时的时钟频率来进行故障诊断。

4.如权利要求2或权利要求3所述的惯性力传感器，仅在起动时进行故障诊断。

5.如权利要求2或权利要求3所述的惯性力传感器，在起动时或稳定驱动时的其中之一中进行故障诊断。