[发明专利]薄膜太阳能电池制造装置有效
| 申请号： | 200980112754.3 | 申请日： | 2009-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN102017169A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 清水康男;小形英之;松本浩一;野口恭史;神保洋介;冈山智彦;森冈和;杉山哲康;重田贵司;栗原広行;桥本征典;若松贞次 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | H01L31/04 | 分类号： | H01L31/04;C23C16/505;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 齐葵;王诚华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 太阳能电池 制造 装置 | ||
1.一种薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，包括：
成膜空间，以基板的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板，并通过CVD法将希望的膜形成在所述成膜面上；
阴极单元，具有施加有电压的阴极和两个以上的供电点，所述阴极配置在两侧；以及
阳极，与配置在所述阴极单元的两侧的所述阴极隔开并对置地配置。
2.一种薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，包括：
成膜空间，以基板的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板，并通过CVD法将希望的膜形成在所述成膜面上；
阴极单元，具有阴极和设置在一对所述阴极之间的绝缘部件，所述阴极具有施加有同电位的两个以上的供电点并施加有电压，所述阴极配置在两侧；以及
阳极，与配置在所述阴极单元的两侧的所述阴极隔开并对置地配置。
3.一种薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，包括：
成膜空间，以基板的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板，并通过CVD法将希望的膜形成在所述成膜面上；
阴极单元，具有阴极和设置在一对所述阴极之间的接地电位的防护部件，所述阴极具有施加有相互不同电位的两个以上的供电点并施加有电压，所述阴极配置在两侧；以及
阳极，与配置在所述阴极单元的两侧的所述阴极隔开并对置地配置。
4.一种薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，包括：
成膜空间，以基板的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板，并通过CVD法将希望的膜形成在所述成膜面上；
阴极单元，具有施加有电压的阴极和阴极中间部件，所述阴极设置在所述阴极中间部件的两侧，且在所述阴极中间部件的侧面上配置有两个以上的供电点，所述阴极配置在两侧；以及
阳极，与配置在所述阴极单元的两侧的所述阴极隔开并对置。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
