[发明专利]用于微机电系统传感器的弹性构件

权利要求书

1.一种设备，包括：

微机电系统(MEMS)传感器，所述传感器包括：

可移动元件，其适合于在第一方向上运动；

固定器，其耦合到基板；以及

弹性构件，其互连在所述可移动元件和所述固定器之间，所述弹性构件中的每一个包括基本上平行对齐布置的第一梁、第二梁和第三梁，所述第三梁位于所述第一梁和所述第二梁之间，所述第一梁和所述第二梁中的每一个耦合至所述固定器和所述可移动元件中的一个，且所述第三梁耦合到所述固定器和所述可移动元件中的另一个。

2.如权利要求1所述的设备，其中，所述弹性构件中的每一个在所述第一方向上相对具柔韧性而在第二方向上相对具刚性。

3.如权利要求1所述的设备，其中，所述第一梁和所述第二梁中的每一个为这样的悬臂梁：所述悬臂梁的第一端耦合至所述固定器和所述可移动元件中的所述一个并且所述悬臂梁的第二端为自由的。

4.如权利要求1所述的设备，其中，所述第一梁和所述第二梁中的所述每一个呈现第一尺寸设计，而所述第三梁呈现与所述第一尺寸设计不同的第二尺寸设计。

5.如权利要求1所述的设备，其中，所述第一梁和所述第二梁中的所述每一个呈现第一宽度，而所述第三梁呈现第二宽度，所述第二宽度小于所述第一宽度。

6.如权利要求1所述的设备，其中，所述弹性构件中的每一个还包括支撑结构，所述支撑结构具有第一腿、第二腿以及耦合在所述第一腿和所述第二腿的相应端之间的横跨构件，所述第一腿和所述第二腿靠近所述第三梁的相反的纵向侧面定位。

7.如权利要求6所述的设备，其中：

所述第一梁和所述第二梁中的所述每一个包括一对细长侧壁；

所述第一腿位于所述第一梁的所述一对侧壁之间；且

所述第二腿位于所述第二梁的所述一对侧壁之间。

8.如权利要求7所述的设备，其中：

所述第一腿从横跨在所述第一梁的所述一对侧壁之间的第一端壁悬臂；且

所述第二腿从横跨在所述第二梁的所述一对侧壁之间的第二端壁悬臂，且所述横跨构件为所述支撑结构的自由端。

9.如权利要求1所述的设备，其中，所述第一梁和所述第二梁中的所述每一个包括第一侧壁和与所述第一侧壁间隔开的第二侧壁，所述第一侧壁附接到所述固定器和所述可移动元件中的所述一个，且所述第一梁和所述第二梁中的所述每一个的所述第二侧壁互相连接并连接到所述第三梁。

10.如权利要求9所述的设备，其中，所述弹性构件中的所述每一个包括加强区域，所述第一梁和所述第二梁的所述第二侧壁经由所述加强区域互相连接，所述第三梁的第一端连接到所述加强区域，且所述第三梁的第二端附接到所述固定器和所述可移动元件中的所述另一个。

11.如权利要求1所述的设备，其中，所述MEMS传感器包括用于检测所述第一方向上的加速度的加速计，所述可移动元件响应于在所述第一方向上的所述加速度而移动。

12.如权利要求12所述的设备，其中，所述加速计检测在所述第一方向上小于10g的所述加速度。

13.如权利要求1所述的设备，其中，所述弹性构件支撑设置在所述基板上方且基本上平行于所述基板的平面而对齐的所述可移动元件，且所述第一方向基本上平行于所述基板。