[发明专利]用于归一化光学发射光谱的方法和装置

权利要求书

1.一种用于等离子发射原位光学解调以定量测量等离子室内的归一化光学发射光谱的装置，包括：

闪光灯；

一组石英窗；

多个准直光学组件，该多个准直光学组件与该组石英窗光学耦合；

多个光纤维束，该多个光纤维束至少包括照明光纤维束、收集光纤维束以及参考光纤维束；以及

多通道光谱仪，该多通道光谱仪至少配置有信号通道和参考通道，该信号通道至少与该闪光灯、该组石英窗、该组准直光学组件、该照明光纤维束以及该收集光纤维束光学耦合，用以测量第一信号。

2.权利要求1的装置，其中该闪光灯是高强度、短脉冲光源。

3.权利要求1的装置，其中该闪光灯是氙气闪光灯。

4.权利要求1的装置，其中该组石英窗至少配置有第一石英窗和第二石英窗，该第一石英窗设置为与该第二石英窗直径上对置。

5.权利要求1的装置，其中该参考通道至少与该闪光灯以及该参考光纤维束光学耦合，用以测量第二信号。

6.权利要求1的装置，其中该第一信号是来自该等离子室的发射信号。

7.权利要求5的装置，其中该第二信号是来自该闪光灯的每脉冲输出。

8.权利要求1的装置，其中该照明光纤维束被设置为与该参考光纤维束具有相等长度。

9.权利要求1的装置，其中该收集光纤维束与该多通道光谱仪上的该信号通道是配对的，该配对可通过第一离线校准法实现。

10.一种使用光发射光谱学(EOS)装置进行原位光学解调等离子发射以定量测量等离子室内的归一化光学发射光谱的方法，该方法包括：

执行多个离线校准；

使用多通道光谱仪上的信号通道与该多通道光谱仪上的参考通道中的至少一个，执行多个初始校准；

在该等离子室内放入未处理的基板；

激励等离子以处理位于该等离子室内的该基板；

使用该多通道光谱仪上的该信号通道与该多通道光谱仪上的该参考通道中的至少一个，用处于ON状态的闪光灯执行第一组光学解调最小积分时间；

使用该多通道光谱仪上的该信号通道与该多通道光谱仪上的该参考通道中的至少一个，用处于OFF状态的该闪光灯执行第二组光学解调该最小积分时间；

使用该多通道光谱仪上的该信号通道，用处于所述OFF状态的该闪光灯执行第三组光学解调所需积分时间；以及

计算归一化光学发射光谱。

11.权利要求10的方法，其中该EOS装置至少配置有该闪光灯；一组石英窗；多个准直光学组件；多个光纤维束，该多个光纤维束至少包括照明光纤维束、收集光纤维束和参考光纤维束；以及该多通道光谱仪，该多通道光谱仪至少配置有该信号通道和该参考通道。

12.权利要求11的方法，其中该闪光灯是高强度、短脉冲光源。

13.权利要求11的方法，其中该闪光灯是氙气闪光灯。

14.权利要求11的方法，其中该组石英窗至少配置有第一石英窗和第二石英窗，该第一石英窗被设置为与该第二石英窗直径上对置。

15.权利要求11的方法，其中该照明光纤维束被设置为与该参考光纤维束具有相等长度。

16.权利要求11的方法，其中该收集光纤维束与该多通道光谱仪上的该信号通道是配对的，该配对可通过该多个离线校准中的第一离线校准实现。

17.权利要求10的方法，其中该多个离线校准中的第二离线校准法使用标准光源来测量多个耦合系数。