[发明专利]薄膜太阳能电池制造装置

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，包括：

成膜室，被排气以减压并通过CVD法在基板上形成膜；

放入取出室，与所述成膜室经由第一开闭部连接，并能够在大气压与减压之间切换；

第一托架，保持成膜处理前的基板；以及

第二托架，保持成膜处理后的基板，

所述放入取出室同时收容所述第一托架与所述第二托架。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池制造装置，所述放入取出室交替收容多个所述第一托架与多个所述第二托架。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的薄膜太阳能电池制造装置，所述放入取出室在所述放入取出室的内部为减压的状态下，同时收容所述第一托架与多个所述第二托架。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的薄膜太阳能电池制造装置，多个所述第一托架与多个所述第二托架的至少一个，在所述放入取出室中，能够在对于向所述成膜室的移动方向成大致直角的方向上移动。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的薄膜太阳能电池制造装置，所述第一托架与所述第二托架以所述基板的被成膜面与重力方向平行的纵姿势保持所述基板。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的薄膜太阳能电池制造装置，所述第一托架和所述第二托架并排且对置地保持多个所述基板。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的薄膜太阳能电池制造装置，所述放入取出室具有使多个所述第二托架一并从所述成膜室向所述放入取出室移动的托架移送机构。

8.根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池制造装置，所述托架移送机构使多个所述第一托架一并从所述放入取出室向所述成膜室移动。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的薄膜太阳能电池制造装置，

包括多个将一个所述成膜室连接在一个所述放入取出室上的处理模块，

多个所述处理模块并列配置。

10.根据权利要求1至8中的任一项所述的薄膜太阳能电池制造装置，一个所述放入取出室与多个所述成膜室连接。