[发明专利]用于放置基板支撑元件的方法和装置

权利要求书

1.一种用于将黏性材料沉积在电子基板上的装置，所述装置包括：

机架；

连接至所述机架的单元，所述单元被配置成将材料沉积在所述电子基板上；

连接至所述机架的基板支撑组件，该基板支撑组件被配置成用于支撑所述电子基板，所述基板支撑组件包括，

多个支撑元件，

连接至机架的平台，所述平台具有支撑表面以支撑所述多个支撑元件中的至少一个支撑元件，

置放头，其被构造成可释放地固定所述至少一个支撑元件，以及

运送装置，其被连接至机架和所述置放头，所述运送装置被构造成用于相对于所述平台在X轴和Y轴方向移动所述置放头，从而将所述至少一个支撑元件放置在所述平台的支撑表面的预定位置；

成像系统，其被连接至机架，所述成像系统被设置成用于获取所述平台的支撑表面的图像；以及

控制器，其被连接至成像系统，所述控制器被设置成依据所述成像系统获取的图像来核实所述至少一个支撑元件是否被放置在所述平台的支撑表面的预定位置上。

2.根据权利要求1所述的装置，进一步包括连接至所述控制器的显示器，该显示器被设置成用于当所述至少一个支撑元件不在预定位置时显示移动所述至少一个支撑元件的通知。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述至少一个支撑元件由所述装置的操作者移动至预定的位置。

4.根据权利要求2所述的装置，其中所述至少一个支撑元件由所述置放头和所述运送装置移动到预定的位置。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述基板支撑组件进一步包括供给盘，该供给盘用于容纳所述多个支撑元件。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个支撑元件包括销。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个支撑元件包括支承壳体，该支承壳体含有低硬度的胶体，所述胶体被设置用于支撑所述电子基板。

8.一种核实支撑元件在装置的平台的支撑表面上的正确放置的方法，所述装置被设置成用于将材料沉积到电子基板上，该方法包括：

将多个支撑元件中的至少一个支撑元件放置在所述平台的支撑表面上的预定位置；

获取位于所述平台的支撑表面上的所述至少一个支撑元件的图像；

根据成像系统获取的所述图像来核实所述至少一个支撑元件是否被放置在所述平台的支撑表面上的预定位置上。

9.根据权利要求8所述的方法，进一步包括当所述至少一个支撑元件不在所述预定位置上时，在所述装置的显示器上显示移动所述至少一个支撑元件的通知。

10.根据权利要求9所述的方法，进一步包括响应于所述接收的通知而将所述至少一个支撑元件移动至预定的位置。

11.根据权利要求10所述的方法，其中由该装置的操作者移动所述支撑元件。

12.根据权利要求10所述的方法，其中由该装置的置放工具来移动所述支撑元件。

13.根据权利要求8所述的方法，其中放置至少一个支撑元件的动作包括，

手动将所述至少一个支撑元件放置在所述平台的一面上，以及

用该装置的置放工具将所述至少一个支撑元件移动到预定的位置。

14.根据权利要求13所述的方法，其中手动放置至少一个支撑元件包括放置预定数量的支撑元件，并且其中该方法进一步包括对所述支撑元件计数以核实支撑元件的数量是否与预定的数量相等。

15.一种计算机可读媒体，该计算机可读媒体上存储有指令序列，所述指令序列包括能使处理器进行如下动作的指令：

将多个支撑元件中的至少一个支撑元件放置在装置的平台的支撑表面上的预定位置，以便在电子基板上执行操作；

获取位于所述平台的支撑表面上的所述至少一个支撑元件的图像；以及

根据成像系统获取的图像，核实所述至少一个支撑元件是否被放置在所述平台支撑表面的预定位置上。

16.根据权利要求15所述的计算机可读媒体，其中，当所述至少一个支撑元件不在所述预定位置上时，所述指令能使所述处理器进一步在显示器上向该装置的操作者显示移动所述至少一个支撑元件的通知。