[发明专利]基板粘合装置

权利要求书

1.一种基板粘合装置，其特征在于，包括：

基台；

上盖，被设置在所述基台的上表面侧，并在与所述基台之间形成气密空间；

弹性片，将所述气密空间分隔成所述基台侧的第一气密空间和所述上盖侧的第二气密空间；

第一粘合用夹具，被载置在所述弹性片上，所述第一粘合用夹具使在上表面粘贴有双面粘结带的第一基板离开所述弹性片，并且在将所述第一基板定位在所述弹性片的预定位置处的情况下支承所述第一基板；

第二粘合用夹具，被设置在所述第一基板的上方，所述第二粘合用夹具在使第二基板离开所述第一基板的情况下将所述第二基板支承在与所述第一基板相对的位置处，并且将所述第二基板定位在预定位置处；以及

气压调节单元，调节所述第一和第二气密空间各自的内部气压；

其中，通过所述气压调节单元使所述第一气密空间成为大气压，并使所述第二气密空间成为真空压，由此使所述弹性片向上方弹性变形，从而将所述第一基板和所述第二基板经由所述双面粘结带粘合。

2.如权利要求1所述的基板粘合装置，其特征在于，

所述第一粘合用夹具具有：板，被载置在所述弹性片上；以及定位销，被配置在所述板上，将所述第一基板定位在所述板的预定位置处。

3.如权利要求1或2所述的基板粘合装置，其特征在于，

所述第二粘合用夹具具有：通孔，被贯穿设置成与所述第二基板相同的形状，并将所述第二基板定位在预定位置处；以及支承部件，被固定在所述第二粘合用夹具的下表面，用于支承插入到所述通孔中的第二基板；

所述第一粘合用夹具具有被贯穿设置成与所述支承部件相同的形状的孔，

所述基板粘合装置包括被载置在所述弹性片上的板台，所述板台具有：通孔，被贯穿设置成与所述第一粘合用夹具相同的形状，并将所述第一粘合用夹具定位在所述弹性片的预定位置处；以及定位单元，对所述第二粘合用夹具进行定位，以使所述第二基板相对于所述第一基板成为预定的位置关系。

4.如权利要求1或2所述的基板粘合装置，其特征在于，

所述第一基板的上表面的面积小于所述第二基板的下表面的面积。

5.如权利要求3所述的基板粘合装置，其特征在于，

所述第一基板的上表面的面积小于所述第二基板的下表面的面积。

6.如权利要求1所述的基板粘合装置，其特征在于，

所述基板粘合装置能够安装粘贴用夹具以代替所述第一粘合用夹具，所述粘贴用夹具在使基板离开所述弹性片的情况下支承所述基板，并且在将所述基板定位在所述弹性片的预定的位置处的情况下支承所述基板，

所述基板粘合装置能够安装支承部件以代替所述第二粘合用夹具，所述支承部件在使双面粘结带离开所述基板的情况下将所述双面粘结带支承在与所述基板相对的位置处，

在安装了所述粘贴用夹具和所述支承部件的状态下，通过所述气压调节单元，使所述第一气密空间成为大气压，并使所述第二气密空间成为真空压，由此使所述弹性片向上方弹性变形，将所述双面粘结带粘贴在所述基板上。