[发明专利]切削工具用多层硬膜

权利要求书

1.一种切削工具用多层硬膜，基层通过物理汽相沉积法沉积在硬质合金的刀片、立铣刀、钻头或者金属陶瓷刀片上，以提高紧贴力以及面(200)的晶体取向；中间层为(Ti、Al)N多层膜，随后被沉积，以提高耐冲击性以及耐剥落性；然后顶层通过交替堆叠A层、B层、C层以及D层而形成，其中：

[组成式1]：A、C层的膜组成比

[Ti(1-x)Alx][C(1-y)Ny]，0.3≤x≤0.5，0.5≤y≤1，

[组成式2]：B层的膜组成比

[Ti(1-q)Alq][C(1-r)Nr]，0.6≤q≤0.8，0.5≤r≤1，

[组成式3]：D层的膜组成比

[Al(1-(a+b))TiaMb]N；M[Si，Cr]

0.3≤a≤0.5，0.02≤b≤0.08，

所述基层的膜组成由组成式1实现；中间层的膜结构是多层膜，该多层膜是通过交替沉积组成式1、2所实现的A层/B层/C层而形成；顶层的膜结构通过以A/B/C/D层或者A/D/C/B层的顺序交替堆叠组成式1、2、3所实现且具有不同的组成比的A层、B层、C层而形成。

2.根据权利要求1所述的切削工具用多层硬膜，其特征在于：

作为基层的膜，(Ti，Al)N单层膜的厚度是0.05～0.7μm；

作为中间层的膜，多层膜的厚度是1.0～20.0μm，所述多层膜是交替沉积组成式1、2所实现的A/B/C层而形成；多层膜结构的堆积周期在1.0～50.0nm的范围内；

在顶层的膜结构中，A层与C层的膜组成比相同，在A层与C层之间必须交替沉积B层或D层中的一层，将A、B、C、D层为一个堆积周期(λ＝1.0～50nm)，顶层的厚度为0.5～5um。

3.根据权利要求1所述的切削工具用多层硬膜，其特征在于：

包括所述基层、所述中间层以及所述顶层的膜厚度在1.0～30.0μm范围内。