[发明专利]通过弧蒸发制造具有预定结构的金属氧化物层的方法

权利要求书

1.通过弧蒸发来制造包括金属或半金属组分的三元和/或更高阶氧化物的层的方法，特征在于通过选择二元或更高阶合金靶的组成，从而使得具有所选组成的二元或更高阶合金靶的相图在与期望的所述氧化物形成温度相应的温度处显示从完全液相向含固体组分的相的转变，来确定所述氧化物的形成温度。

2.根据权利要求1所述的方法，特征在于通过在合金靶中掺合高熔点金属或半金属组分来调节氧化物的形成温度。

3.根据前面权利要求中的任一项所述的方法，特征在于通过使用至少一种由铝和至少另一种金属或半金属组分构成的合金靶，所述层具有高于70原子％的比例的刚玉结构的氧化铝，其中所述合金在1000℃和1200℃之间具有从完全液相向含固体组分的相的转变。

4.根据权利要求1或2所述的方法，特征在于所述合金具有在高于1000℃的从完全液相向含固体组分的相的转变。

5.根据权利要求1所述的方法，特征在于通过使用至少一种由铝和至少一种其它金属或半金属组分构成的合金靶，所述层具有高于70原子％比例的刚玉结构的氧化铝，其中所述靶具有以原子％表示的一种或多种以下组成：

Au：20-30

B：＜3

Be：20-30

C：＜3

Cr：＞10-25

Fe：5-15

Hf：5-10

Ir：10-15

La：10-15

Mo：2-5

Nb：1-3

Ta：1-3

Ti：2-6

V：3-8

W：5-8

Y：12-16

Zr：2-4，

其余为Al，但不少于70。

6.根据权利要求1所述的方法，特征在于通过使用至少一种铝靶，粉末冶金制造的或铸接式制造的，其掺合小于20原子％的比例的一种或几种金属或半金属组分，所述层具有超过70原子％比例的刚玉结构的氧化铝，特征在于所述金属或半金属组分具有高熔点并由此根据相图实现至少1000℃的混合物熔点。