[发明专利]用于过程仪表设施的测量变换器和监测其传感器的状态的方法

权利要求书

1.一种用于过程仪表设施的测量变换器，所述测量变换器具有：传感器(3)，用于检测物理的或化学的参数和用于产生测量信号(MS)；和控制-和评估单元(4，5)，用于取决于所述测量信号确定和输出所述物理的或化学的参数的测量值，其特征在于，所述传感器(3)具有至少一个电子元件(R1...R4)，所述电子元件埋入在由半导体材料制成的基板中并且在正常运行时通过关闭的PN结(DS)和所述基板电绝缘；存在用于监测所述传感器(3)的状态的装置(K1，RC，4，5)，所述PN结在测试运行中可通过所述装置在导通方向上接通，并且所述装置设计用于，确定所述PN结的电特性并且进行评估以用于监测传感器状态。

2.根据权利要求1所述的测量变换器，其特征在于，所述PN结(DS)的所述电特性取决于温度；设置温度传感器(TS)，用于检测基板温度；所述监测装置(K1，RC，4，5)设计用于，根据所述电特性确定所述温度的第一值并且与利用所述温度传感器(TS)测定的第二值进行比较。

3.根据权利要求1或2所述的测量变换器，其特征在于，所述PN结(DS)的所述电特性是所述PN结的在所述导通方向上的正向电压。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的测量变换器，其特征在于，用于状态监测的所述装置(K1，RC，4，5)至少部分地布置在所 述控制-和评估单元(4，5)中。

5.一种方法，用于对用来检测物理的或化学的参数的传感器的状态进行监测，和用于在用于过程仪表设施的测量变换器中产生测量信号(MS)，所述测量变换器具有控制-和评估单元(4，5)，用于取决于所述测量信号(MS)确定和输出物理的或化学的参数的测量值，其中所述传感器(3)具有至少一个电子元件(R1...R4)，所述电子元件埋入在由半导体材料制成的基板中并且在正常运行时通过关闭的PN结(DS)和所述基板电绝缘，其中所述方法包括以下步骤：

在测试运行中使所述PN结(DS)在导通方向上接通；

确定所述PN结(DS)的电特性；和

评估所述电特性以用于监测所述传感器(3)的状态。