[发明专利]用于样品瞬逝照明的装置和方法

权利要求书

1.一种用于样品瞬逝照明的装置，包括照明光学器件，其设有校 正光学器件(3)和位于所述校正光学器件(3)下游的物镜(4)，以 用所提供的包含具有至少两种不同波长的光辐射(S1、S2)的光线束 (15)瞬逝照明所述样品，所述校正光学器件(3)具有横向色差，其 在照明期间导致所述光辐射(S1、S2)根据所述波长在不同高度穿过 所述物镜(4)的光瞳(14)，并且以如此方式对其选择，即减小在瞬 逝照明期间辐射进入所述样品(11)的穿透深度与波长相关的差异；

其中，所述装置包括馈送单元，其将所述光线束(15)以离轴方 式馈送至所述校正光学器件(3)。

2.按照权利要求1所述的装置，其中，所述校正光学器件(3) 包含至少一个折射元件(L1、L2、L3)。

3.按照权利要求1或2所述的装置，其中，所述校正光学器件(3) 包含至少一个倾斜放置的平板(17)和/或倾斜放置的透镜。

4.按照权利要求1或2所述的装置，其中，所述校正光学器件(3) 包括与所述物镜光瞳(14)共轭的平面(16)，所提供的光线束(15) 穿过所述平面。

5.按照权利要求3所述的装置，其中，所述校正光学器件(3) 包括与所述物镜光瞳(14)共轭的平面(16)，所提供的光线束(15) 穿过所述平面。

6.按照权利要求1所述的装置，其中，所述馈送单元以如此方式 馈送所述校正光学器件(3)的光线束(15)，以使其不平行于所述校 正光学器件(3)的光轴而延伸。

7.按照权利要求1所述的装置，其中，所述校正光学器件(3) 包括至少一个衍射元件(20、25)。

8.一种用于样品瞬逝照明的方法，包括含有至少两种不同波长的 光辐射的光线束，所述光线束经校正光学器件和设置于所述校正光学 器件下游的物镜引导至样品，以使得样品被瞬逝照明，

所述校正光学器件具有横向色差，其在照明期间导致光辐射根据 所述波长在不同高度穿过所述物镜的光瞳，并且以如此方式对其选择， 即减小在瞬逝照明期间辐射进入所述样品的穿透深度与波长相关的差 异；

其中，所述光线束以离轴方式馈送至所述校正光学器件。

9.按照权利要求8所述的方法，其中，所述校正光学器件设有至 少一个折射元件。

10.按照权利要求8或9所述的方法，其中，所述校正光学器件 设有至少一个倾斜放置的平板和/或倾斜放置的透镜。

11.按照权利要求8或9所述的方法，其中，所述校正光学器件 具有与物镜光瞳共轭的平面，所提供的光线束穿过所述平面。

12.按照权利要求11所述的方法，其中，所述光线束包括光辐射， 以使其作为同轴光线束穿过共轭平面。

13.按照权利要求8、9或12所述的方法，其中，用具有所述至 少两种波长的光辐射同时照明所述样品。

14.按照权利要求10所述的方法，其中，所述校正光学器件具有 与物镜光瞳共轭的平面，所提供的光线束穿过所述平面。

15.按照权利要求10所述的方法，其中，用具有所述至少两种波 长的光辐射同时照明所述样品。

16.按照权利要求11所述的方法，其中，用具有所述至少两种波 长的光辐射同时照明所述样品。

17.按照权利要求8所述的方法，其中，所述光线束以如此方式 馈送至所述校正光学器件，以使其不平行于所述校正光学器件的光轴 而延伸。

18.按照权利要求8所述的方法，其中，所述校正光学器件设有 至少一个衍射元件(20、25)。