[发明专利]电容型机电变换器的制造方法和电容型机电变换器

权利要求书

1.一种电容型机电变换器的制造方法，包括：

在基板上形成第一电极；

在第一电极上形成绝缘层，该绝缘层具有引向第一电极的开口；

在绝缘层上形成牺牲层；

在牺牲层上形成膜片，该膜片具有第二电极；

设置从外面引向牺牲层的孔径作为蚀刻剂入口；

蚀刻牺牲层以形成空腔；和

密封用作蚀刻剂入口的孔径，

其中，通过经由开口、牺牲层和孔径使电流在第一电极和外部设置的对电极之间流动的电解蚀刻，来执行蚀刻。

2.根据权利要求1的电容型机电变换器的制造方法，其中，在膜片中形成孔径。

3.根据权利要求1或2的电容型机电变换器的制造方法，其中，膜片的孔径位于空腔的一端，而绝缘层的开口位于空腔的另一端。

4.根据权利要求1或2的电容型机电变换器的制造方法，其中，膜片的孔径和绝缘层的开口中的一个位于空腔的中央，而膜片的孔径和绝缘层的开口中的另一个位于空腔的周边。

5.根据权利要求1或2的电容型机电变换器的制造方法，其中，

空腔包含第一空腔和通过连接端口与第一空腔连接的第二空腔；和

通过将蚀刻剂从连接端口引入第一空腔和第二空腔中的至少一个来进行蚀刻。

6.根据权利要求1或2的电容型机电变换器的制造方法，其中，基板包含半导体基板和玻璃基板中的一个。

7.一种电容型机电变换器的制造方法，包括：

在基板上形成第一电极；

在第一电极上形成绝缘层；

在绝缘层上形成牺牲层；

在牺牲层上形成膜片；

在膜片中设置包括用作蚀刻剂入口的孔径的多个孔径；

在膜片上设置第二电极；

蚀刻牺牲层以形成空腔；和

密封用作蚀刻剂入口的孔径，

其中，通过经由引向第二电极的膜片的多个孔径中的至少一个、牺牲层和用作蚀刻剂入口的孔径使电流在第二电极和外部设置的对电极之间流动的电解蚀刻，来执行蚀刻。

8.根据权利要求7的电容型机电变换器的制造方法，其中，设置为膜片中的蚀刻剂入口的孔径位于空腔的一端，而引向第二电极的膜片的多个孔径中的所述至少一个位于空腔的另一端。

9.根据权利要求7的电容型机电变换器的制造方法，其中，设置为膜片中的蚀刻剂入口的孔径和引向第二电极的膜片的多个孔径中的所述至少一个中的一个位于空腔的中央，而设置为膜片中的蚀刻剂入口的孔径和引向第二电极的膜片的多个孔径中的所述至少一个中的另一个位于空腔的周边。

10.根据权利要求7～9中的任一项的电容型机电变换器的制造方法，其中，基板包含半导体基板和玻璃基板中的一个。

11.一种电容型机电变换器，包括：

基板；

在基板上形成的第一电极；

被设置在基板上的支撑体支撑的距第一电极一定距离的膜片，在膜片和第一电极之间形成空腔；和

设置在膜片上的第二电极，其中，

第一电极和第二电极中的至少一个被绝缘层覆盖；

膜片包括在其中形成的被设置为引向空腔的孔径并然后被密封的密封部分；并且，

绝缘层包括在其中形成的引向第一电极和第二电极中的一个的孔径。

12.一种包括多个变换器部分的电容型机电变换器，每个变换器部分包括：

基板；

在基板上形成的第一电极；

被设置在基板上的支撑体支撑的距第一电极一定距离的膜片，在膜片和第一电极之间形成空腔；和

设置在膜片上的第二电极，

其中，

第一电极和第二电极中的至少一个被绝缘层覆盖，

所述多个变换器部分之中的第一变换器部分的膜片包括在其中形成的被设置为引向空腔的孔径并然后被密封的密封部分；

与第一变换器部分不同的第二变换器部分的绝缘层包括在其中形成的引向第一电极和第二电极中的一个的孔径；并且，

第一变换器部分的空腔和第二变换器部分的空腔经由设置在第一变换器部分和第二变换器部分之间的连接端口相互连接。

13.根据权利要求11或12的电容型机电变换器，其中，膜片也用作绝缘层。