[发明专利]弹性边界波装置

权利要求书

1.一种弹性边界波装置，其特征在于，

具备：

由LiTaO₃单晶形成的压电基板；

层叠在所述压电基板上，且由电介质形成的第一介质层；

层叠在所述第一介质层上，且由音速与形成第一介质层的所述电介质不同的电介质形成的第二介质层；

配置在所述压电基板和所述第一介质层的边界的至少一个交叉指型电极，

所述第一介质层的膜厚为H，所述交叉指型电极的膜厚为h，交叉指型电极中的电极指的周期为λ，形成交叉指型电极的金属的密度的相对于Au的密度的比为a时，第一介质层的音速比LiTaO₃的音速慢，第二介质层的音速比LiTaO₃的音速快，(h/λ)×a≤0.05。

2.根据权利要求1所述的弹性边界波装置，其特征在于，

形成所述第一介质层的所述电介质以SiO₂为主体。

3.根据权利要求1或2所述的弹性边界波装置，其特征在于，

形成所述第二介质层的所述电介质以从由SiN、SiON、AlN、AlO、Si、SiC、类金刚石及多晶硅形成的组中选择的一种材料为主体。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性边界波装置，其特征在于，

设所述LiTaO₃的欧拉角为(0°±5°，θ，0°±25°)时，相对于H/λ及θ的值，交叉指型电极的标准化膜厚(h/λ)×a处于下述的表1～表10的范围，

[表1]

[0.05≤H/λ＜0.15]时

  0≤θ＜75.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.05  75.5≤θ＜76.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.014或0.021～0.05  76.5≤θ＜77.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.014或0.022～0.05  77.5≤θ＜78.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0135或0.023～0.05  78.5≤θ＜79.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.013或0.024～0.05  79.5≤θ＜80.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.013或0.025～0.05  80.5≤θ＜81.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.013或0.0255～0.05  81.5≤θ＜82.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.013或0.026～0.05  82.5≤θ＜83.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.013或0.0265～0.05

  83.5≤θ＜84.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.013或0.027～0.05  84.5≤θ＜85.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.013或0.0275～0.05  85.5≤θ＜86.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.013或0.028～0.05  86.5≤θ＜87.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.013或0.0285～0.05  87.5≤θ＜88.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0135或0.029～0.05  88.5≤θ＜90.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0135或0.0295～0.05  90.5≤θ＜91.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.014或0.03～0.05  91.5≤θ＜92.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.014或0.0305～0.05  92.5≤θ＜93.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0145或0.0305～0.05  93.5≤θ＜94.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0145或0.031～0.05  94.5≤θ＜95.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.015或0.031～0.05  95.5≤θ＜96.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0155或0.0315～0.05  96.5≤θ＜97.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.016或0.0315～0.05  97.5≤θ＜98.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0165或0.032～0.05  98.5≤θ＜99.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.017或0.032～0.05  99.5≤θ＜100.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0175或0.032～0.05  100.5≤θ＜101.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.018或0.0325～0.05  101.5≤θ＜102.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0185或0.0325～0.05  102.5≤θ＜103.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.019或0.0325～0.05  103.5≤θ＜104.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0195或0.0325～0.05  104.5≤θ＜105.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0205或0.033～0.05

  105.5≤θ＜106.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0215或0.033～0.05  106.5≤θ＜107.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0225或0.033～0.05  107.5≤θ＜108.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0235或0.033～0.05  108.5≤θ＜109.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.024或0.0325～0.05  109.5≤θ＜110.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.026或0.0325～0.05  110.5≤θ＜111.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.028或0.032～0.05  111.5≤θ＜112.5时  (h/λ)×a＝0.005～0.0295或0.0305～0.05  112.5≤θ＜180时  (h/λ)×a＝0.005～0.05

[表2]

[0.15≤H/λ＜0.25]时

[表3]

[0.25≤H/λ＜0.35]时

[表4]

[0.35≤H/λ＜0.45]时

[表5]

[0.45≤H/λ＜0.55]时

[表6]

[0.55≤H/λ＜0.65]时

[表7]

[0.65≤H/λ＜0.75]时

[表8]

[0.75≤H/λ＜0.85]时

[表9]

[0.85≤H/λ＜0.95]

[表10]

[0.95≤H/λ＜1.00]时