[发明专利]太阳能电池中合并植入的使用

权利要求书

1.一种使用衬底制造太阳能电池的方法，包括：

产生一真空，其中该衬底在该真空中受到植入；

使用一第一种类于该衬底的一第一表面进行一第一离子植入；

导入一掩膜图案用以覆盖该衬底的该第一表面的一部分；以及

使用一第二种类于该表面进行一第二离子植入，而该第二种类只有植入于该衬底的该第一表面的一未覆盖部分，其中该第一离子植入和该第二离子植入是在未破真空的情况下进行。

2.根据权利要求1所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中该第一种类与该第二种类为相同种类。

3.根据权利要求1所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中该第一种类与该第二种类包括多个掺质。

4.根据权利要求1所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中该第一种类与该第二种类为不同种类。

5.根据权利要求1所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中该第一种类或该第二种类包括一非掺质。

6.根据权利要求1所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中在该第一离子植入之前加入一第二掩膜图案，使该第一种类只掺杂于该衬底的一部分。

7.一种使用衬底制造太阳能电池的方法，包括：

产生一真空，其中该衬底在该真空中受到植入；

使用一第一种类于该衬底的一第一表面进行一第一离子植入；

翻转该衬底，以暴露一第二表面；

加入一掩膜图案，以覆盖该衬底的该第二表面的一部分；以及

使用一第二种类于该第二表面进行一第二离子植入，而使只有该衬底的该第二表面的一未覆盖部分被植入该第二种类，其中该第一离子植入与该第二植入是在未破真空的情况下进行。

8.根据权利要求7所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中该第一种类与该第二种类为相同种类。

9.根据权利要求7所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中该第一种类与该第二种类包括多个掺质。

10.根据权利要求7所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中该第一种类与该第二种类为不同种类。

11.根据权利要求7所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中该第一种类或该第二种类包括一非掺质。

12.根据权利要求7所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中一第二掩膜图案是在该第一离子植入之前加入，因此该第一种类只有掺杂于该衬底的该第一表面的一部分。

13.一种使用衬底制造太阳能电池的方法，包括：

产生一真空，其中该衬底在该真空中受到植入；

使用一第一种类于该衬底的一第一表面进行一第一离子植入；

翻转该衬底，以暴露一第二表面；以及

使用一第二种类于该第二表面进行一第二离子植入，其中该第一离子植入与该第二离子植入是在未破真空的情况下进行。

14.根据权利要求13所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中该第一种类与该第二种类为相同种类。

15.根据权利要求13所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中该第一种类与该第二种类包括多个掺质。

16.根据权利要求13所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中该第一种类与该第二种类为不同种类。

17.根据权利要求13所述的方法，其中该第一种类或该第二种类包括一非掺质。

18.根据权利要求13所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中在该第一离子植入之前加入一第一掩膜图案，使该第一种类只掺杂于该衬底的该第一表面的一部分。

19.根据权利要求17所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中在该第二离子植入之前加入一第二掩膜图案，使该第二种类只掺杂于该衬底的该第二表面的一部分。

20.根据权利要求13所述的使用衬底制造太阳能电池的方法，其中在该第二离子植入之前加入一掩膜图案，使该第二种类只掺杂于该衬底的该第二表面的一部分。