[发明专利]原位差分谱仪

权利要求书

1.一种谱仪，所述谱仪包括电子束生成器，所述电子束生成器用于生成被导向试样的电子束；电子束定位器，所述电子束定位器用于将所述电子束引导至所述试样的适当位置上，并且从而产生来自所述试样的二次发射流；二次发射流定位器，所述二次发射流定位器用于将所述二次发射流定位到检测器阵列上，并且所述检测器阵列用于接收所述二次发射流并且检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者，其中所述二次发射流包括电子和X射线中的至少一种，其改进在于，所述谱仪包括调制器，所述调制器用于调制所述被引导至所述试样上的电子束的位置，并且从而在所述试样上的第一位置和第二位置之间扫描所述电子束；以及提取器，所述提取器与所述调制器和所述检测器阵列两者信号通信，用于提取表征从所述第一位置接收到的信号与从所述第二位置接收到的信号之间的差别的差分信号。

2.如权利要求1所述的谱仪，其中所述谱仪为俄歇谱仪。

3.如权利要求1所述的谱仪，其中所述谱仪为EDX谱仪。

4.一种谱仪，所述谱仪包括电子束生成器，所述电子束生成器用来生成被导向试样的电子束；电子束定位器，所述电子束定位器用于将所述电子束引导至所述试样的适当位置上，并且从而产生来自所述试样的二次发射电子流；发射电子流定位器，所述发射电子流定位器用于将所述发射电子流定位到检测器阵列上，并且所述检测器阵列用于接收所述发射电子流并且检测所述发射电子流的量和被接收到的位置两者，其改进在于，所述谱仪包括调制器，所述调制器用于调制所述发射电子流定位器上的电压，并且从而跨所述检测器扫描所述发射电子流；以及提取器，所述提取器与所述调制器和所述检测器两者信号通信，用于提取表征与所述试样的本底组成不同的所述试样的痕量成分的差分信号。

5.如权利要求3所述的谱仪，其中所述谱仪为俄歇谱仪。

6.一种用于产生差分谱的方法，所述方法包括如下步骤：

将电子束引导至试样上，并且从而产生来自所述试样的二次发射流，其中所述二次发射流包括电子和X射线中的至少一种，

将所述二次发射流定位到检测器阵列上，

利用所述检测器阵列检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者，

利用调制器调制将所述电子束引导至所述试样上的引导和将所述二次发射流定位到所述检测器阵列上的定位中的至少一个，

在所述调制器和所述检测器阵列之间提供信号通信，以及

提取表征由所述调制的电子束和所述调制的二次发射流中的至少一个生成的信号之间的差别的差分信号。

7.如权利要求7所述的方法，其中所述方法由俄歇谱仪实施。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述方法由EDX谱仪实施。

9.如权利要求7所述的方法，其中所述调制器调制被引导至所述试样上的所述电子束，从而在所述试样上的第一位置和第二位置之间扫描所述电子束，并且所述差分信号表征从所述试样上的第一位置接收的信号和从所述试样上的第二位置接收的信号之间的差别。

10.如权利要求7所述的方法，其中所述调制器跨所述检测器阵列调制所述发射电子流，从而跨所述检测器阵列扫描所述发射电子流，并且所述差分信号表征与所述试样的本底组成不同的所述试样的痕量成分。