[发明专利]气化器及使用该气化器的成膜装置

权利要求书

1.一种气化器，其特征在于，包括：

以规定的压力供给液体原料的贮液室；

被设置成从所述贮液室突出、用于排出所述贮液室内的液体原料的喷嘴；

将所述喷嘴的排出口排出的所述液体原料气化并生成原料气体，并将该原料气体从送出口送出的气化室；

设置在所述喷嘴的前端部与所述气化室之间，并覆盖所述排出口周围的筒形状被加热部件；

设置于所述被加热部件，用于从所述排出口的附近喷出载气的载气喷出口；

在所述被加热部件内被分隔而成的、用于将所述排出口排出的所述液体原料与所述载气混合后向所述气化室喷出的混合室；

从所述气化室的外侧对所述气化室进行加热的第一加热部；和

从所述被加热部件的外侧对所述被加热部件进行加热的第二加热部。

2.如权利要求1所述的气化器，其特征在于：

所述被加热部件由金属构成，所述喷嘴由树脂构成。

3.如权利要求2所述的气化器，其特征在于：

所述混合室利用设置在所述被加热部件内的节流部被分隔而成，在所述节流部形成有将所述混合室与所述气化室之间连通的节流孔，

所述节流部与所述被加热部件一起被所述第二加热部加热。

4.如权利要求3所述的气化器，其特征在于：

所述混合室由所述排出口的下方的中央空间和围绕该中央空间的周围的环状空间构成，所述载气喷出口被配置成向所述环状空间喷出载气。

5.如权利要求4所述的气化器，其特征在于：

在所述节流部的所述混合室一侧，设置有使所述节流孔的孔径向着该混合室一侧逐渐变大的上部锥形部，

所述上部锥形部被形成为向着所述排出口突出。

6.如权利要求5所述的气化器，其特征在于：

在所述节流部的所述气化室一侧，设置有使所述节流孔的孔径向着该气化室一侧逐渐变大的下部锥形部，

所述下部锥形部被形成为向着所述气化室突出。

7.如权利要求1～6中任一项所述的气化器，其特征在于，设置有：

检测所述气化室的温度的第一温度传感器；

检测所述排出口的温度的第二温度传感器；和

控制部，其监视所述各个温度传感器所检测出的温度，将所述排出口的温度控制在至少附着物不会附着在所述排出口的温度，并将所述气化室的温度控制为高于所述排出口的温度。

8.一种成膜装置，其具有从气化器导入原料气体并对被处理基板进行成膜处理的成膜室，其中，该气化器用于将液体原料气化并生成所述原料气体，该成膜装置的特征在于，所述气化器包括：

以规定的压力供给液体原料的贮液室；

被设置成从所述贮液室突出、用于排出所述贮液室内的液体原料的喷嘴；

在所述喷嘴的前端部开口的排出口；

将所述排出口排出的所述液体原料气化并生成原料气体的气化室；

将来自所述气化室的原料气体送出至所述成膜室的送出口；

设置在所述喷嘴的前端部与所述气化室之间，并覆盖所述排出口周围的筒形状被加热部件；

设置于所述被加热部件，用于从所述排出口的附近喷出载气的载气喷出口；

在所述被加热部件内被分隔而成的、用于将所述排出口排出的所述液体原料与所述载气混合后向所述气化室喷出的混合室；

从所述气化室的外侧对所述气化室进行加热的第一加热部；和

从所述被加热部件的外侧对所述被加热部件进行加热的第二加热部。