[发明专利]等离子处理装置

权利要求书

1.一种等离子处理装置，包括：

反应室；用于对反应室导入反应气体的气体导入部；用于从反应室排出反应气体的排气部；由在反应室内配置成相对状且在反应气体中等离子放电的第1电极和第2电极的组构成的3组以上的放电部；用于使各组的所述第1电极和所述第2电极水平状或垂直状支撑且并排的支撑部；以及对全部组的放电部提供电力的电源部，

所述电源部包括高频发生器、以及用于放大来自该高频发生器的高频电力而提供给第1电极的放大器，

所述放电部中，一个放电部的第1电极和与该放电部相邻的其他放电部的第1电极经由单独的放大器连接到同一个高频发生器，或者经由放大器连接到不同的高频发生器，各放电部中的第2电极分别接地。

2.如权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

所述电源部对一个放电部的第1电极和与该放电部相邻的其他放电部的第1电极提供同步的高频电力。

3.如权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

所述放电部中，一个放电部的第1电极和不与该放电部相邻的其他放电部的第1电极经由同一个放大器分别通过同一个电系统连接到同一个高频发生器。

4.如权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

所述放电部中，一个放电部和不与该放电部相邻的其他放电部，它们的第1电极的形状、大小以及供电位置相同，且它们的第2电极的形状、大小以及接地位置相同。

5.如权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

所述放电部中，一个放电部和与该放电部相邻的其他放电部的第1电极的供电位置不同。

6.如权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

所述第1电极和所述第2电极是平面形状为矩形的平行平板型的电极，

所述放电部中，一个放电部的第1电极的供电位置和与该放电部相邻的其他放电部的第1电极的供电位置互相设定在180度相对侧的电极端面的中央部。

7.如权利要求1所述的等离子处理装置，其特征在于，

在所述放电部中，从各放电部的第1电极至第2电极的电极间距离A和从一个放电部的第2电极至相邻的其他放电部的第1电极的放电部之间距离B的关系为B/A≥1.5。