[发明专利]感光性树脂组合物有效
申请号: | 200980119560.6 | 申请日: | 2009-05-27 |
公开(公告)号: | CN102047181A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 丹羽基博;涩井智史;金田隆行 | 申请(专利权)人: | 旭化成电子材料株式会社 |
主分类号: | G03F7/023 | 分类号: | G03F7/023;G03F7/004 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
1.一种感光性树脂组合物,其特征在于,包含:
100质量份(A)含有下述通式(1)所示结构的羟基聚酰胺,
[化学式1]
式(1)中,X1是具有碳原子的4价有机基团,X2、Y1和Y2各自独立地是具有2个以上碳原子的2价有机基团,l是2~1000的整数,m是0~500的整数,l/(l+m)>0.5,而且含有X1和Y1的l个二羟基二酰胺单元以及含有X2和Y2的m个二酰胺单元的排列顺序是任意的;
0.01~30质量份(B)下述通式(2)所示的含烷氧基烷基的化合物,
[化学式2]
式(2)中,k是1~4的整数,(i)k=1时,X是CnH2nOR1或R2,R1是选自由甲基、乙基、正丙基和异丙基组成的组中的1价有机基团,R2是选自由氢原子、碳原子数1~4的烷基、碳原子数2~10的酯基、碳原子数2~10的氨基甲酸酯基和碳原子数1~10的烷氧基组成的组中的1价有机基团,n是1~3的整数,p是1~5的整数,q是0~4的整数,而且(p+q)=5,(ii)k=2~4时,X是单键或2~4价有机基团,R1是选自由甲基、乙基、正丙基和异丙基组成的组中的1价有机基团,R2是选自由氢原子、碳原子数1~4的烷基、碳原子数2~10的酯基和碳原子数2~10的氨基甲酸酯基组成的组中的1价有机基团,n是1~3的整数,p是1~5的整数,q是0~4的整数,而且(p+q)=5,其中,在CnH2nOR1和R2存在多个的情况下,n、p、q、R1和R2彼此可以相同也可以不同;以及
1~100质量份(C)重氮醌化合物。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,(B)含烷氧基烷基的化合物用下述通式(3)表示,
[化学式3]
式(3)中,k是1或2,(i)k=1时,X是CnH2nOR1或R2,R1是选自由甲基、乙基、正丙基和异丙基组成的组中的1价有机基团,R2是选自由氢原子、碳原子数1~4的烷基、碳原子数2~10的酯基、碳原子数2~10的氨基甲酸酯基和碳原子数1~10的烷氧基组成的组中的1价有机基团,n是1~3的整数,(ii)k=2时,X是单键或选自下述通式(4)所示的基团中的2~4价有机基团,R1是选自由甲基、乙基、正丙基和异丙基组成的组中的1价有机基团,R2是选自由氢原子、碳原子数1~4的烷基、碳原子数2~10的酯基和碳原子数2~10的氨基甲酸酯基组成的组中的1价有机基团,n是1~3的整数,p是1~5的整数,q是0~4的整数,而且(p+q)=5,其中,在CnH2nOR1和R2存在多个的情况下,n、p、q、R1和R2彼此可以相同也可以不同。
[化学式4]
3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,(B)含烷氧基烷基的化合物用下述通式(5)表示,
[化学式5]
式(5)中,R1是选自由甲基、乙基、正丙基和异丙基组成的组中的1价有机基团,n是1~3的整数,p是1~5的整数,k是1或2,(i)k=1时,X是氢原子或CnH2nOR1,(ii)k=2时,X是单键或选自下述通式(6)所示的基团中的2~4价有机基团,其中,在(CnH2nOR1)存在多个的情况下,n和R1彼此可以相同也可以不同。
[化学式6]
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